[发明专利]利用消除辅助特征来提高处理范围的方法有效
| 申请号： | 02154272.4 | 申请日： | 2002-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1437072A | 公开（公告）日： | 2003-08-20 |
| 发明（设计）人： | J·F·陈;D·－F·S·苏;M·F·A·厄林斯 | 申请（专利权）人： | ASML蒙片工具有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 梁永 |
| 地址： | 荷兰维尔*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 搜索关键词： | 利用 消除 辅助 特征 提高 处理 范围 方法 | ||
【权利要求书】：
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