[发明专利]薄膜压电体元件及其制造方法以及使用该薄膜压电体元件的致动器装置有效
| 申请号： | 02148216.0 | 申请日： | 2002-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1423276A | 公开（公告）日： | 2003-06-11 |
| 发明（设计）人： | 内山博一;桑岛秀树 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G11B21/21 | 分类号： | G11B21/21 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 孙敬国 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 元件 及其 制造 方法 以及 使用 致动器 装置 | ||
【权利要求书】：
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