[发明专利]扫描隧道显微镜的扫描装置无效
| 申请号： | 02145211.3 | 申请日： | 2002-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1501063A | 公开（公告）日： | 2004-06-02 |
| 发明（设计）人： | 李民乾;胡均;华寿亭;张心澄 | 申请（专利权）人： | 上海爱建纳米科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/12 | 分类号： | G01N13/12 |
| 代理公司： | 上海开祺专利代理有限公司 | 代理人： | 李兰英;唐秀萍 |
| 地址： | 200041上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 隧道 显微镜 装置 | ||
【说明书】：
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