[发明专利]转动竖直镜面微机械光开关及其制造方法无效
| 申请号： | 02145147.8 | 申请日： | 2002-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN1405590A | 公开（公告）日： | 2003-03-26 |
| 发明（设计）人： | 杨艺榕;唐衍哲;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;G02B6/35;H04B10/12 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 搜索关键词： | 转动 竖直 微机 开关 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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