[发明专利]应用超声波装置于含有胶体活化剂的非导体金属化制程无效
申请号: | 02141385.1 | 申请日: | 2002-07-09 |
公开(公告)号: | CN1467304A | 公开(公告)日: | 2004-01-14 |
发明(设计)人: | 江德馨 | 申请(专利权)人: | 中鼎化工股份有限公司 |
主分类号: | C23C18/31 | 分类号: | C23C18/31;B01J19/10;H05K3/18 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 朱黎光 |
地址: | 台湾省台北市大安区*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 应用 超声波 装置 含有 胶体 活化剂 非导体 金属化 | ||
【权利要求书】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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