[发明专利]正片型感光性抗蚀剂组合物及其用途

权利要求书

1.一种正片型感光性抗蚀剂组合物，其特征在于，含有具有至少一个二氯乙酰基的化合物作为酸发生剂。

2.根据权利要求1所述的正片型感光性抗蚀剂组合物，其特征在于，具有至少一个二氯乙酰基的化合物由下述通式(1)表示：

【化1】式(1)中，R1、R2、R3、R5表示从氢原子、卤素原子、氰基、碳数1～3的直链或分支的无取代烷基、由羟基取代的碳数1～3的直链或分支的烷基及苯基中选择的取代基，R4表示从氢原子、卤素原子、氰基、碳数1～3的直链或分支的无取代烷基、由羟基取代的碳数1～3的直链或分支的烷基、苯基及二氯乙酰基中选择的取代基，X表示从O、S、CH₂、C(CH₃)₂、C＝O中选择的2价的连结基。

3.根据权利要求1所述的正片型感光性抗蚀剂组合物，其特征在于，还含有酸感应性共聚物，该酸感应性共聚物含由下述通式(2)表示的第1构成单位：

【化2】由下述通式(3)表示的第2构成单位：

【化3】式(3)中，R6表示氢原子或甲基，R7表示碳数1～6的直链或分支的无取代烷基、由羟基取代的碳数1～6的直链或分支的烷基、由卤素原子取代的碳数1～6的直链或分支的烷基、由氰基取代的碳数1～6的直链或分支的烷基或由二烷基氨基取代的碳数1～6的直链或分支的烷基；和由下述通式(4)表示的第3构成单位：

【化4】式(4)中，R8表示氢原子或甲基，R9表示氢原子、卤素原子或碳数1～6的直链或分支的无取代烷基，Z表示氢原子、碳数1～6的直链或分支的无取代烷基或碳数1～6的直链或分支的取代烷基，Y表示碳数1～6的直链或分支的无取代烷基或碳数1～6的直链或分支的取代烷基，Y和Z也可以结合形成环结构，a，b，c表示摩尔组成比，合计为1。

4.根据权利要求3所述的正片型感光性抗蚀剂组合物，其特征在于，由上述通式(1)表示的第1构成单位的组成比a是0.05～0.3，由上述通式(2)表示的第2构成单位的组成比b是0.5～0.9，由上述通式(3)表示的第3构成单位的组成比c是0.01～0.4，三个构成单位的组成比的总和为1。

5.根据权利要求3所述的正片型感光性抗蚀剂组合物，其特征在于，上述酸感应性共聚物是将含有以各自摩尔比的合计为1摩尔为条件含0.05～0.3摩尔份数的4-(1-甲基乙烯基)苯酚、0.5～0.9摩尔份数的由以下通式(5)表示的(甲基)丙烯酸酯类：

【化5】式中，R6表示氢原子或甲基，R7表示碳数1～6的直链或分支的无取代烷基、由羟基取代的碳数1～6的直链或分支的烷基、由卤素原子取代的碳数1～6的直链或分支的烷基、由氰基取代的碳数1～6的直链或分支的烷基或由二烷基氨基取代的碳数1～6的直链或分支的烷基；和0.01～0.4摩尔份数的由以下通式(6)表示的(甲基)丙烯酸烷氧基烷基酯类而组成的单体混合物：

【化6】式中，R8表示氢原子或甲基，R9表示氢原子、卤素或碳数1～6的直链或分支的无取代烷基，Z表示氢原子、碳数1～6的直链或分支的无取代烷基或碳数1～6的直链或分支的取代烷基，Y表示碳数1～6的直链或分支的无取代烷基或碳数1～6的直链或分支的取代烷基，Y和Z也可以结合形成环结构；

和自由基聚合引发剂，

和溶剂而构成的共聚物原料进行加热得到的共聚物。