[发明专利]半导体装置及其制造方法无效
| 申请号： | 02141230.8 | 申请日： | 2002-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1428854A | 公开（公告）日： | 2003-07-09 |
| 发明（设计）人： | 本浪康司;增田裕;深谷忠男 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H01L23/50 | 分类号： | H01L23/50;H01L23/495;H01L21/60;H01L21/48 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 孙敬国 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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