[发明专利]多晶硅氢还原炉的可变截面积进气口装置无效
| 申请号： | 02137784.7 | 申请日： | 2002-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN1415927A | 公开（公告）日： | 2003-05-07 |
| 发明（设计）人： | 闻瑞梅;戴自忠;梁骏吾;郭钟光;吴坚 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | F27D7/00 | 分类号： | F27D7/00;F27B5/16 |
| 代理公司： | 上海东亚专利代理有限公司 | 代理人： | 陈树德 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 可变 截面 进气口 装置 | ||
【权利要求书】：
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