[发明专利]聚焦控制装置及使用该控制装置的原盘曝光装置

权利要求书

1.一种聚焦系统，该系统使平行光束和非平行光束通过一可移动物镜聚焦在物体上，它包括：

一负反馈回路，该回路包括一检测器和一驱动器，该检测器用于接收如下反射光，即上述非平行光透过上述可移动物镜、并被上述物体反射、再透过上述可移动物镜的反射光，并用于产生与上述非平行光束的焦点偏离相对应的检测信号；该驱动器用于接收上述检测信号，并根据上述检测信号控制上述可移动物镜的位置，以便于上述检测信号减少；和

校正信号产生器，用于产生校正信号并将该信号供给到负反馈回路作为上述回路的干扰，以便于上述平行光束聚焦在上述物体上。

2.根据权利要求1所述的聚焦系统，其特征在于所述校正信号产生器接收到上述检测信号，并能从上述检测信号中分离出直流成分和高频成分。

3.根据权利要求2所述的聚焦系统，其特征在于所述的校正信号具有0-200Hz的低频成分。

4.一种使平行光和非平行光这两束光经可动物镜在物体上聚焦的聚焦方法，该方法的步骤包括：

根据被上述物体反射的、透过上述可移动物镜的反射光，检测出上述非平行光的聚焦位移，并生成表示该聚焦位移的信号，

根据上述检测出的聚焦位移的信号，使上述物镜位置移动，以便于消除表示该聚焦位移的信号，

从表示上述聚焦位移的信号中抽取校正信号，并作为外部干扰附加于表示该聚焦位移的信号中，使上述非平行光聚焦在上述物体上。

5.根据权利要求4所述的聚焦方法，其特征在于上述校正信号是从表示上述聚焦位移的信号中除去了直流成分和高频成分的信号。

6.根据权利要求5所述的聚焦方法，其特征在于上述校正信号是具有0-200Hz的低频成分的信号。

7.一种光学记录系统，该系统使平行光束和非平行光束通过一可移动物镜聚焦在物体上，它包括：

一负反馈回路，该回路包括一检测器和一驱动器，该检测器用于接收如下反射光，即上述非平行光透过上述可移动物镜、并被上述物体反射、再透过上述可移动物镜的反射光，并用于产生与上述非平行光束的焦点偏离相对应的检测信号；该驱动器用于接收上述检测信号，并根据上述检测信号控制上述可移动物镜的位置，以便于上述检测信号减少；和

校正信号产生器，用于产生校正信号并将该信号供给到负反馈回路作为上述回路的外部干扰，以便于上述平行光束聚焦在上述物体上。

8.根据权利要求7所述的光学记录系统，其特征在于所述校正信号产生器接收到上述检测信号，并能从上述检测信号中分离出直流成分和高频成分。

9.根据权利要求8所述的光学记录系统，其特征在于所述的校正信号具有0-200Hz的低频成分。

10.一种聚焦控制装置，该控制装置由以下部件构成：

可动的物镜，

平行光产生装置，该平行光产生装置夹着上述物镜地被设置在与目标物相反的那一侧，且产生透过上述物镜在预定位置上成像的平行光，

聚焦光产生装置，该聚焦光产生装置夹着上述物镜地被设置在与目标物相反的那一侧，且产生透过上述物镜在预定位置上成像的非平行聚焦光，

聚焦检测装置，检测上述目标物上的上述聚焦光的成像状态，

自动聚焦控制装置，根据来自该聚焦检测装置的检测结果，控制上述物镜位置，

位置检测装置，检测上述物镜位置，和

位置控制装置，根据该位置检测装置输出的检测信号，控制上述物镜位置。

11.根据权利要求10所述的聚焦控制装置，其特征在于上述位置检测装置检测出的检测信号被供给到上述自动聚焦控制装置。