[发明专利]流体排出装置

说明书

技术领域

本发明涉及对液体和气体等流体进行吸入、计量、排出的流体排出装置，尤其是可用于将流体一定量地、反复地排出的分配器，和连续地供给流体的泵。

背景技术

目前，大家知道流体排出装置(泵，分配器)有各种形式的，本发明人关于即使是微量流体也能高精度地排出的泵，提出了特开平2-55878号、特开平2-230975号中所记载的柱塞型的泵，和特开平7-35046号中所记载的隔膜式泵。

这些流体排出装置包括：对吸入流体的吸入路进行开闭的吸入路开闭阀；对排出流体的排出口进行开闭的排出口开闭阀；排出流体的排出用部件，而且，从内侧向外侧，按排出口开闭阀、排出用部件、吸入路开闭阀的顺序将它们配置成同心圆状，还包括按规定动作分别对排出口开闭阀、排出用部件及吸入路开闭阀进行驱动的驱动机构。

该流体排出装置的吸入动作是，关闭排出口开闭阀，打开吸入路开闭阀，在该状态下使排出用部件向离开排出口的方向移动，将流体吸入形成于排出口和排出用部件之间的空间内。

排出动作是，流体吸入之后，关闭吸入路开闭阀，从而，对规定量的排出液体进行计量，然后，打开排出口开闭阀，将排出用部件移动到排出口一侧，排出流体。最后，关闭排出口开闭阀，排出动作完毕。

这样，这些流体排出装置中，设有吸入路开闭阀和排出口开闭阀，在流体的吸入动作和排出动作之间，切断从吸入口至排出口的连通，进行计量动作，即计量排出液，故，即使是微量的排出，也能高精度地调整流体的排出量。

但是，在这些流体排出装置上，必须分别对上述吸入路开闭阀、排出口开闭阀、排出用部件进行驱动，故需要设置3台驱动装置。因此，存在着流体排出装置内的结构复杂，难以小型化的问题。

这些流体排出装置，可用在半导体生产线等上的极微量的粘结剂和药品等的排出，若流体排出装置本身小型化，便可将多台并设流体排出装置时的间隔和空间抑制到最小限度，还可提高生产效率，人们迫切希望流体排出装置小型化。

发明的公开

本发明的目的之一是提供一种流体排出装置，即使是微量的流体，也可高精度地排出，而且可简化结构，可小型化。

本发明的另一目的是提供一种流体排出装置，该排出装置不会向流体排出装置外部漏液体，即使在设成耐药品性的情况下，也可低成本地进行制造。

本发明是具有泵部件、阀部件、可与计量空间连通的吸入路及排出口的流体排出装置，该计量空间用该泵部件及阀部件闭塞，其特点在于：上述阀部件具有上述排出口，而且可在排出口的轴向上可相对于泵部件进退移动地设置，并在该阀部件上设有吸入路开闭部，该吸入路开闭部随着进退移动，而与上述泵部件接合或脱离，可开闭上述吸入路，在上述泵部件上设有排出口开闭部和计量部，其中，排出口开闭部可与阀部件的排出口接合或脱离，以开闭排出口，计量部同心圆状地配置在该排出口开闭部的外侧，而且可朝着上述计量空间内进退移动而改变计量空间内的容积，而且，该流体排出装置还具有下述机构：排出口开闭机构，它可使上述排出口开闭部朝向排出口进退而开闭排出口，而且，将上述阀部件向其排出口方向推压，使阀部件的吸入路开闭部离开泵部件便可打开吸入路；计量部进退机构，它同心圆状地配置在排出口开闭机构的外侧，使上述计量部朝向阀部件进退便可改变计量空间内的容积；施力机构，它将上述阀部件向泵部件推压，使上述吸入路开闭部与泵部件接触，从而闭塞吸入路；驱动机构，它按规定动作分别驱动上述排出口开闭机构和计量部进退机构。

在这样的本发明中，由于将现在的形成有不移动的排出口的阀部件设成可在排出口的轴向上进退移动、并且用施力机构和排出口开闭机构使阀部件进退移动，故也可将移动排出口开闭部的排出口开闭机构用于吸入路开闭部的移动。

因此，以往必须准备3套驱动装置，而本发明仅准备2套驱动装置即可，可使结构简单、装置小型化。

而且，还具有吸入路开闭部及排出口开闭部，故在流体吸入动作和排出动作之间，还可切断从吸入口至排出口的连通，进行计量排出液的计量动作，即使是微量的流体，也可高精度地排出。

本发明中，优选为，上述泵部件由隔膜构成，其中心侧形成薄膜，外周侧形成得较厚，其薄膜部分设有排出口开闭部和形成于以该排出口开闭部为中心的圆周上的计量部，而且，在形成得较厚的外周部上，形成有与上述阀部件的排出口开闭部接触的平面密封部。上述阀部件用隔膜一体地构成，该隔膜的外周侧设成薄膜，中心侧形成得较厚，其外周部不能移动地固定在上述泵部件上，在通过薄膜从该外周部开始连续的上述厚部上形成有排出口，而且，该厚部因上述薄膜部分的变形，可相对于泵部件进退移动。