[发明专利]喷墨记录头的墨吐出口的制造方法及喷墨记录头

说明书

技术领域

本发明涉及墨滴喷出并附着在记录媒体上的喷墨记录头的墨吐出口制造方法、及具有由该制造方法制造的墨吐出口的喷墨记录头。

背景技术

现在，关于适应喷墨记录方式的喷墨记录头的墨吐出口的加工，一般采用向形成结构的树脂材料照射激态激光等的高能量紫外线激光进行构图，通过切断碳原子共价键的光化学反应进行升华蚀刻，通过该激光加工而形成。

另外，作为其它方法有称为电铸法的方法，其中，实施在导电性基板上对非导电材料构图，然后用电镀生长金属厚膜，把在非导电材料部分上形成的空穴部分用作墨吐出口的方法；或者在薄厚金属板上用穴形的冲模机械拉拔形成墨吐出口的方法；或者在具有墨吐出口压力产生源的IC芯片上，在积层步骤中涂敷形成墨吐出口的感光性负性光刻胶，通过曝光显影形成墨吐出口的方法等等。

另一方面，作为墨吐出方法，通过使墨吐出口穴的内部对液体墨有亲水性，从墨吐出侧的穴边缘到周边都对液体墨有憎水性，在墨吐出侧的表面上通过液体表面张力形成墨液界面，用机械变位元件或热发泡元件向液体墨施加压力，把喷墨部内部储存的液体墨挤出的方法，喷出墨液滴。

但是，在任何一种墨吐出口的加工方法中，从墨吐出面到内部形成的墨吐出口的壁面非常光滑地形成，以表面粗糙度为标准偏差为0.2微米以下的凹凸状态加工形成。由此，墨吐出口壁面的流动阻力小，从墨的流动性上看是好的，但是，作为喷墨记录头的墨吐出特性，最近产生了以下的问题。

(1)为了使记录速度加快而提高墨吐出频率时，如果不压制由于墨液滴吐出后形成的表面张力而伸张的墨液面的衰减振动即弯液面振动，后面就不能稳定地吐出墨液滴，由此墨吐出频率受限制，墨吐出频率决定于该弯液面振动的压制时间，墨的流动阻力小时弯液面振动的压制时间会更长。

(2)墨吐出后的弯液面振动是由于从墨缓冲部即墨液室补充被吐出的墨占的体积而产生的，墨的流动阻力小时，由于补充时的流体的移性惯性力，发生喷出过多，墨吐出面中墨液面的喷出量即弯液面振动的振幅增加。

(3)与墨吐出口壁面的墨的接触面积小时，墨吐出时墨从墨吐出口壁面部分地剥落，空间会进入墨喷嘴内部，以气泡的形式进入记录头内部，从而用来从喷墨部内部挤出储存的墨的机械变位元件或热发泡元件产生的压力被混入的气泡部分地吸收，不能得到足够的墨吐出力。

(4)与墨吐出口壁面的墨的接触面积小时，由于墨与墨吐出口壁面的亲水接触，引力减小，从墨缓冲部即墨液室补充被吐出的墨占的体积供给力弱，墨的补充速度低。

如上所述，如果墨吐出口壁面的流动阻力小，提高墨吐出频率以提高记录速度时，会产生上述的问题。而且，还有如上所述的那些与墨吐出口有关的危害。

因此，本发明正是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种喷墨记录头的墨吐出口制造方法，以及具有由该制造方法制造的墨吐出口的喷墨记录头，可以提高墨液滴的吐出频率，提高记录速度，可以防止因混入空气产生气泡导致的不能获得足够的墨吐出力的危害。

发明内容

为了实现上述目的，提供一种喷墨记录头的墨吐出口的制造方法，该喷墨记录头具有用来吐出附着在记录媒体上的墨液滴的墨吐出口、用来存储向上述墨吐出口供给的墨的液室、连通上述墨吐出口和上述液室的墨流路、在上述墨流路的一部分上设置的产生用来吐出墨的能量的能量产生元件、以及用来从外部向上述液室供给墨的墨供给口，该制造方法特征在于：上述墨吐出口加工形成为从其墨吐出面到内部形成的壁面的表面状态为，表面粗糙度的标准偏差值为0.3微米以上、1微米以下的凹凸。

根据本发明，可以实现可以提高墨液滴的吐出频率，提高记录速度，可以防止因混入空气产生气泡导致的不能获得足够的墨吐出力的危害的、喷墨记录头的墨吐出口制造方法，以及具有由该制造方法制造的墨吐出口的喷墨记录头。

附图说明

图1是展示本发明的实施例中的墨吐出口部分的加工状态的图；

图2是展示本发明的实施例中的激光加工装置的光学示意图；

图3是展示本发明的实施例中的激光加工装置中使用的光掩模的图案的图；

图4A-4C是展示具有用本发明的实施例的加工装置制成的墨吐出口的喷墨记录头的主要部分的示意图。

实施发明的具体方式