[发明专利]射频激励共电极折叠双通道波导CO2激光器

权利要求书

1、射频激励共电极折叠双通道波导CO₂激光器，它由陶瓷片(1)、上电极(12)、下电极(13)、反射镜(7)、真空室(14)、外壳(15)、谐振电感(11)、电缆(8)组成；真空室(14)设置在外壳(15)内的底部，在真空室(14)内设有上电极(12)、下电极(13)，在上电极(12)和下电极(13)的同一侧上下对应的位置连接一条同轴电缆(8)；在上电极(12)与下电极(13)之间设置有至少四条等厚直边间隔分布的陶瓷片(1)，各相邻陶瓷片(1)边缘之间的缝隙与上电极(12)和下电极(13)之间形成直线贯通电极两端的直波导通道(2)，其特征在于其中一侧的一条波导通道被一条陶瓷片(1-2)与其它缝隙内的波导通道隔离形成一条独立的波导通道(2-1)，在波导通道(2-1)的两端分别设有全反射镜(7-2)和部分反射镜(7-1)构成一个短光程激光谐振腔(3-1)，其余各条相邻直波导通道在端头相汇连通形成一个折叠的波导通道(2-2)，在折叠波导通道(2-2)的一个末端设有部分反射镜(7-1)，在折叠波导通道(2-2)中的其余直波导通道各端均设有全反射镜(7-2)，各条相邻直波导通道之间的光路连通构成一个折叠的长光程激光谐振腔(3-2)。

2、根据权利要求1所述的射频激励共电极折叠双通道波导CO₂激光器，其特征在于各相邻陶瓷片(1)边缘之间的缝隙与上电极(12)和下电极(13)之间形成截面为2.25×2.25平方毫米直线贯通电极两端的直波导通道，陶瓷片(1-1)、陶瓷片(1-2)和陶瓷片(1-5)为矩形，陶瓷片(1-1)和陶瓷片(1-2)之间的波导通道与其它波导通道隔离形成一条独立的波导通道(2-1)，在波导通道(2-1)的左端设有全反射镜(7-2)，在波导通道(2-1)的右端设有部分反射镜(7-1)，构成一个短光程激光谐振腔(3-1)，陶瓷片(1-3)和陶瓷片(14)为三角形，陶瓷片(1-3)与陶瓷片(1-4)交错间隔设置在陶瓷片(1-2)和陶瓷片(1-5)之间，各相邻直波导通道在端头相汇连通形成一条Z形折叠的波导通道(2-2)，在Z形折叠波导通道(2-2)的右下端设有部分反射镜(7-1)，在Z形折叠波导通道(2-2)中的其余直波导通道各端均设有全反射镜(7-2)，各条相邻直波导通道之间的光路连通构成一个Z形折叠的长光程激光谐振腔(3-2)。

3、根据权利要求1所述的射频激励共电极折叠双通道波导CO₂激光器，其特征在于陶瓷片(1-3)、陶瓷片(1-4)为矩形，在陶瓷片(1-3)、陶瓷片(14)、陶瓷片(1-5)之间各直波导通道的左端设有正交全反射镜(7-2)，在陶瓷片(1-2)、陶瓷片(1-3)、陶瓷片(1-4)之间各直波导通道的右端设有正交全反射镜(7-2)，陶瓷片(1-2)、陶瓷片(1-3)、陶瓷片(14)、陶瓷片(1-5)之间各相邻直波导通道光路连通形成一条往复U形折叠长光程谐振腔(3-2)。

4、根据权利要求1所述的射频激励共电极折叠双通道波导CO₂激光器，其特征在于在谐振腔(3-1)和谐振腔(3-2)的左端用反射光栅(5)替代全反射镜(7-2)。

5、根据权利要求1、4所述的射频激励共电极折叠双通道波导CO₂激光器，其特征在于在谐振腔(3-1)的右端及谐振腔(3-2)的右端均设有全反射镜(7-2)。

6、根据权利要求1、4所述的射频激励共电极折叠双通道波导CO₂激光器，其特征在于它还包含电光调制器(6)，在谐振腔(3-2)内的左端设有部分反射镜(7-1)，在谐振腔(3-2)的右端设有部分反射镜(7-1)和在谐振腔(3-2)内的电光调制器(6)。