[发明专利]变面积电容式脉宽调制输出型角位移传感器无效
| 申请号： | 02123466.3 | 申请日： | 2002-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1464283A | 公开（公告）日： | 2003-12-31 |
| 发明（设计）人： | 赵志忠;马慧;刘宇;杨树元;侯朝焕;王文魁;冯波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01B7/30 | 分类号： | G01B7/30 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 面积 电容 脉宽调制 输出 位移 传感器 | ||
【说明书】：
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