[发明专利]加工装置和加工结果检测方法

权利要求书

1.一种加工装置，其特征在于，包括：

支撑体，可相对移动，支撑加工工件的工具和所述工件；

测定器，测定所述工具和相对于所述支撑体一方的另一方的位置；

测定数据存储部，存储所述测定器的测定数据；

规定数据存储部，存储作为在所述工件的加工结果合格情况下测定的所述测定数据的规定数据；

运算部，比较所述测定数据和所述规定数据，进行所述工件的加工结果是否合格的判定；和

处理部，进行对应于所述运算部的是否合格判定的结果的处理。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，还包括：

第一激励器，为了确定所述工件的位置，移动所述工具和相对于所述支撑体一方的另一方的位置；和

第二激励器，移动所述工具和相对于所述支撑体一方的另一方的位置，以描绘用于加工所述工件的轨迹。

3.根据权利要求2所述的加工装置，其特征在于，

所述第一激励器包括X驱动部，沿X轴移动所述工具和相对于所述支撑体一方的另一方的位置；和Y驱动部，沿Y轴移动所述工具和相对于所述支撑体一方的另一方的位置，所述XY轴垂直，

所述第二激励器包括Z驱动部，沿所述轨迹移动所述工具和相对于所述支撑体一方的另一方的位置。

4.根据权利要求3所述的加工装置，其特征在于，

所述测定器包括：X传感器，测定所述工具和相对于所述支撑体一方的沿所述X轴的另一方的位置；Y传感器，测定所述工具和相对于所述支撑体一方的沿所述Y轴的另一方的位置；和Z传感器，测定所述工具和相对于所述支撑体一方的沿所述轨迹的另一方的位置。

5.根据权利要求4所述的加工装置，其特征在于，

所述测定数据包含所述X传感器测定的X测定值；所述Y传感器测定的Y测定值；和所述Z传感器测定的Z测定值。

6.根据权利要求5所述的加工装置，其特征在于，

所述规定数据包含表示工具和相对于所述支撑体一方的另一方的沿所述X轴的位置的X规定值；表示工具和相对于所述支撑体一方的另一方的沿所述Y轴的位置的Y规定值；表示工具和相对于所述支撑体一方的另一方的沿所述轨迹的位置的Z规定值。

7.根据权利要求2-6之一所述的加工装置，其特征在于，

当所述工具和相对于所述支撑体一方的另一方的位置到达沿所述轨迹的第一基准值时，所述测定数据存储部开始存储所述测定数据，

当所述工具和相对于所述支撑体一方的另一方的位置到达沿所述轨迹的第二基准值时，所述测定数据存储部结束存储所述测定数据，

当所述工具和相对于所述支撑体一方的另一方的位置为通过所述第一基准值后、到达所述第二基准值前时，可进行所述工件的加工。

8.根据权利要求7所述的加工装置，其特征在于，

在所述测定数据存储部结束存储所述测定数据之后，所述运算部进行所述是否合格的判定。

9.根据权利要求1-8之一所述的加工装置，其特征在于，

所述规定数据是根据范围特定的值，

所述运算部判断所述测定数据是否在所述规定数据的范围内。

10.根据权利要求1-9之一所述的加工装置，其特征在于，

所述测定器在多个时刻进行测定，得到多个所述测定数据，所述测定数据存储部存储所述多个测定数据。

11.根据权利要求1-10之一所述的加工装置，其特征在于，

所述处理部的处理包括在所述是非合格的判定结果为不合格的情况下，终止加工的处理。

12.根据权利要求1-11之一所述的加工装置，其特征在于，

还包括输出所述处理部的处理结果的输出部。

13.根据权利要求1-12之一所述的加工装置，其特征在于，

还包括保存所述测定数据、所述规定数据和所述是否合格判定结果中至少一部分的辅助存储部。