[发明专利]从工件切割出薄片的方法有效
| 申请号： | 02119038.0 | 申请日： | 2002-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1385288A | 公开（公告）日： | 2002-12-18 |
| 发明（设计）人： | 霍尔格·伦特;洛塔尔·胡贝尔;彼得·维斯纳 | 申请（专利权）人： | 瓦克硅电子半导体材料股份公司 |
| 主分类号： | B28D1/10 | 分类号： | B28D1/10;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 戴建波 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 切割 薄片 方法 | ||
1、一种用锯切割棒状或块状工件的方法，其特征在于，在切割过程中，测量工件的温度，并将测量信号传至一控制装置，再利用该控制装置所产生的控制信号控制工件的温度。
2、一种用锯切割棒状或块状工件的方法，其特征在于，在切割过程中，工件的温度是根据事先确定的控制曲线的控制信号来加以控制。
3、如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述的控制曲线是如此确定的：测量切割过程中工件的温度，并利用该测量产生一测量信号，再利用该测量信号控制工件温度，从而记录下控制曲线。
4、如权利要求2的方法，其特征在于，选择与所加工工件的材质及形状相匹配的控制曲线。
5、如权利要求1-4之一的方法，其特征在于，用所述的控制信号控制一热交换器，该热交换器确定冷媒的温度，而该冷媒是供给工件并控制工件的温度。
6、如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述的冷媒是一液体或气体，且所述冷媒是经由配置在工件正上方或侧上方的喷嘴供给到工件的。
7、如权利要求6的方法，其特征在于，所述的液体为切割工件时所用的稀砂浆。
8、如权利要求1或2的方法，其特征在于，所述的控制信号控制至少一个珀尔贴元件，该元件配置在工件上或密封剂密封片上以控制工件的温度。
9、如权利要求1或3的方法，其特征在于，所述工件的温度是在工件表面或密封剂密封片上的多个位置上或密封剂密封片的孔洞内测量的。
10、如权利要求1、3或9的方法，其特征在于，所述工件的温度是在工件的终端侧测得的。
11、如权利要求1-10之一的方法，其特征在于，所述工件的温度保持恒定不变。
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