[发明专利]超高真空泵及其三维压缩气体入水的液压方法

说明书

(一)技术领域：

本发明是超高真空泵及其三维压缩气体气体入水获得超高真空的液压方法，属机械产品，特别涉及三维压缩气体气体入水获得超高真空的技术。

(二)背景技术：

现有的真空泵种类很多，但都存在下述的缺点和问题：(1)无法由一个真空泵从大气压抽到超高真空，甚至到极高真空度；(2)抽真空速度慢；(3)抽到较高真空的费用很高；(4)泵的制造费用贵；(5)对氢气和氦气的抽速特别慢等等，这些是现有的真空泵普遍存在的共同缺点和问题。

(三)发明内容：

本发明的目的就是为了克服和解决现有真空泵存在的无法由一个真空泵从大气压抽到超高真空，且抽真空速度太慢、费用太高等的缺点和问题，研究、发明、设计一种能利用液压、三维压缩气体从而大大提高被压缩气体的压强，又将被压缩气体排入低水位水里，气体由于浮力作用浮到高水位的水面再排入大气里，实现在排气口处得到一个极低的前级压强，并且有很快的抽速、结构简单、造价低、抽真空费用低等优点的超高真空泵及其三维压缩气体入水获得超高真空的液压方法。

本发明是通过下述技术方案来实现的：超高真空泵的结构示意图如图1所示，排气式高真空泵的结构示意图如图2所示。它由带开关的真空管道1、液压推动阀门装置2、26、46，液压油注入或流出口3、23、24、47，液压活塞4、22、27、45，活塞连杆5、20、30、44，弹簧拉杆6、17、31、43，弹簧7、16、32、42，阀门活动套杆8、13、34、41，固定在阀门上的杆9、15、33、40，阀门10、14、35、39，大空腔11，气压活塞12、36，大空腔11与液压油腔21相连的开口处18，活动管道19，液压油腔21，液压油箱中间隔板25，小空腔29与液压油箱21开口处28，小空腔29，上开口水箱37，小涡轮机38、大气过滤管48共同安装连接构成，其相互位置及相互连接关系为：带开关真空管道1的管道另一端与被抽真空容器相连通；液压推动阀门装置2由螺丝装上超高真空密封橡胶圈后固定在管道外壁上；液压油注入或流出口3、23、24、41及液压推动阀门装置26的液压油注入或流出口与液压泵相连接；液压活塞4与活塞连杆5相焊接；弹簧拉杆6焊接在管道的内壁上；阀门的推杆9、15、33、44都分别焊接在相应的阀门上；阀门活动套杆8、套杆的杆焊接在管道内壁上；弹簧拉杆17、31都焊接在活动管道19的内壁上；气压活塞12固定在活动管道19上，并且气压活塞12上安装多个超高真空密封橡胶圈(如氟橡胶圈)，固定方式多种，只要保证气压活塞12的光学镜平面与大空腔11的光学镜平面，在压缩气体时，二个光学镜平面完全相合，并且气体都流进活动管道19和小空腔29里就行；大空腔11与液压油箱21可以用螺丝加上超高真空密封圈后相连接，以达到抽超高真空的要求；液压推动活塞22、27焊接在活动管道19上且都安装上液压密封圈；液压推动阀门装置26固定在活动管道19上并且紧靠活塞27，液压推动阀门装置26上液压注入或流出油管从液压油注入或流出口24处引入，液压推动阀门装置26应尽量不占活动管道19的内空间，以便气体流通，应尽量装入活动管道的内壁里；小空腔29与液压油箱21的连接和大空腔11与液压油箱21的连接相同；小空腔29与水箱37相连接，小空腔29的端头进入水箱37内且与水箱37的内侧面在一平面上，并且与小涡轮机38的叶片转动的圆周内组成镜面；小空腔29与水箱37的连接用螺丝加防水橡胶固定连接；小涡轮机38的叶片贴近小空腔29的端头及该镜面，小涡轮机38固定在水箱37里，小涡轮机38的转动中心要偏离小空腔29的中心以便于气体排入水中，小涡轮机38的叶片除在垂直小空腔29端头面方向排水防止进入端头面外，叶片的端头向旋转方向弯一点以便向转动圆外排水防止水进入该端头面；在实际制造过程中，应该在小空腔29的端头面处可以插入一块挡水板，当小涡轮机38停机时，水不能进入小空腔29，这块挡水板也可以由小涡轮机38的叶片替代，当小涡轮机38停机时，该叶片贴在小空腔29端头上防止水进入。