[发明专利]有机超薄阻蚀膜的复合自组装方法无效
| 申请号： | 02113026.4 | 申请日： | 2002-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1164373C | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | 顾宁;郭志睿;马全红;王怡红;徐丽娜 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B05D5/00 | 分类号： | B05D5/00;B05D7/14;B05D1/18;C09D183/04 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 沈廉 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 超薄 阻蚀膜 复合 组装 方法 | ||
【说明书】：
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