[发明专利]一种液晶显示器阵列衬底的制造方法

权利要求书

1.一种液晶显示器阵列衬底的制造方法，包括以下步骤：

在一衬底上形成一选通线和一栅极；

在该衬底上形成一选通绝缘层；

在该选通绝缘层上形成一有源层和一欧姆接触层；

在该衬底上形成一数据线、一源极和一漏极；

通过在该衬底上淀积绝缘材料形成一钝化层；

通过对该钝化层制作图案形成一漏极接触孔，该漏极接触孔露出漏极的一部分；

在该钝化层上形成一透明金属层；

在该透明金属层上形成一阻光层；

通过将一掩模设置在阻光层之上来执行一曝光过程，该掩模包括一阻光部分、一缝部分和一透光部分；和

通过对曝光的阻光层进行显影和对所曝光的透明金属层进行蚀刻，形成一象素电极。

2.根据权利要求1的方法，其中该掩模的阻光部分对应于象素电极，该掩模的透光部分对应于有源层，源极和漏极以及缝部分对应于数据线。

3.根据权利要求1的方法，其中该象素电极与相邻象素电极之间的距离为2到3.5微米。

4.根据权利要求1的方法，其中数据线的宽度为6到7.5微米。

5.根据权利要求1的方法，其中该缝部分具有至少两条缝。

6.根据权利要求5的方法，其中缝的宽度为1.2微米。

7.根据权利要求5的方法，其中该缝与相邻缝之间的距离为0.5微米。

8.一种显示器薄膜晶体管阵列衬底的制造方法，包括以下步骤：

通过淀积和蚀刻第一导电层，在一衬底上形成多条选通线和多个栅极；

在该衬底上形成一选通绝缘层，以覆盖该多条选通线和多个栅极；

在该选通绝缘层上形成多个岛形有源层和多个岛形欧姆接触层；

通过淀积和蚀刻第二导电层，在该选通绝缘层、多个有源层和多个欧姆接触层上形成多条数据线、多个源极和多个漏极；

通过在该选通绝缘层上淀积和蚀刻一绝缘材料，形成一钝化层以覆盖多条数据线、多个源极和多个漏极，该钝化层具有多个接触孔，这多个接触孔用来暴露至少一个导电层；

在该钝化层上形成与多条数据线相交叠的多个象素电极，至少两个相邻象素电极之间的空间小于3.5微米。

9.根据权利要求8的方法，其中该象素电极与相邻象素电极之间的距离为2到3.5微米。

10.根据权利要求8的方法，其中数据线的宽度是6到7.5微米。

11.根据权利要求8的方法，其中采用一掩模形成多个象素电极，该掩模包括一阻光部分、一缝部分和一透光部分。

12.根据权利要求11的方法，其中该掩模的阻光部分对应于该象素电极，该掩模的透光部分对应于有源层，源极和漏极以及该缝部分对应于数据线。

13.根据权利要求11的方法，其中该缝部分具有至少两条缝。

14.根据权利要求13的方法，其中缝的宽度为1.2微米。

15.根据权利要求13的方法，其中缝与缝之间的距离为0.5微米。