[发明专利]被研磨物保持部件及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种在研磨硅片、硬盘等被研磨物时，用于保持被研磨物的被研磨物保持部件及其制造方法。

背景技术

制造硅片、硬盘等的工序中存在研磨硅片、硬盘等被研磨物表面的研磨工序。被研磨物由被研磨物保持部件保持，进行其表面的研磨。被研磨物保持部件具有下述结构：外周部形成旋转驱动时起作用的齿轮的圆板上，形成嵌合并保持被研磨物的1个以上的贯通孔。将被研磨物嵌入1个以上贯通孔中的被研磨物保持部件装到研磨装置上，将该被研磨物保持部件以研磨装置的太阳齿轮作为中心，进行行星运动，同时在包含圆板表面的平面内旋转，进行被研磨物的研磨。

通常以往的被研磨物保持部件是加工由热固性树脂含浸层压板构成的圆板形成的。作为热固性树脂含浸层压板，有使环氧树脂含浸于玻璃纤维织物基材中的层压板，使环氧树脂含浸于芳族聚酰胺纤维无纺布基材中的层压板，使苯酚树脂含浸于棉布基材中的层压板等。含浸的树脂通常为不包含无机物或有机物微粒等的热固性树脂。

美国专利第6,291,373号公报中公开了下述技术，即，在芳族聚酰胺纤维无纺布的基材中含浸环氧树脂，干燥，制成预成型料，将重叠了1块或数块该预成型料的层压片热压成形，制造被研磨物保持部件。

进行研磨作业时，首先，将上述被研磨物保持部件装到研磨装置中，并将被研磨物保持在被研磨物保持部件的贯通孔中。接着，边向被研磨物表面供给分散了二氧化硅(SiO₂)、氧化铝(Al₂O₃)、二氧化铈(CeO₂)等微粒的水系研磨液，边旋转被研磨物保持部件，同时相对旋转设置在被研磨物表面上的研磨垫(被保持在研磨装置的上盘上)，研磨被研磨物的表面。

将被研磨物保持部件更换成新的等情况下，将被研磨物保持部件从研磨装置拆下的操作通过手工作业或机器自动进行。最近，多采用机器自动进行该操作。另外，将结束研磨的被研磨物从被研磨物保持部件上取下和将新的被研磨物供给被研磨物保持部件的工作也多靠机器自动进行。

如上所述，由于研磨作业中使用水系研磨液，通过水系研磨液，被研磨物保持部件处于与研磨装置的研磨垫密合的状况。结果，在提升上盘从被研磨物保持部件上取下被研磨物时，或者更换被研磨物保持部件时，会发生被研磨物保持部件密合在研磨垫上与研磨垫一同向上提升，进而发生被研磨物也与被研磨物保持部件一同向上提升的情况。这种情况在用手工操作进行被研磨物保持部件的装卸或被研磨物的取出和供给时，不会成为较大的问题，但用机器自动进行该操作时，成为使生产线停止发生故障(生产线故障)的原因。

发明内容

本发明的目的在于提供一种难于附着或粘附在研磨装置的研磨垫上的被研磨物保持部件。

本发明的另一目的在于提供一种可减少成为生产线故障原因的被研磨物发生不良现象的被研磨物保持部件。

本发明的又一目的在于提供一种可提高研磨作业效率的被研磨物保持部件。

本发明的其他目的在于提供一种可简单地制造难于附着或粘附在研磨装置的研磨垫上的被研磨物保持部件的方法。

本发明以由热固性树脂含浸纤维板构成的被研磨物保持部件作为改进对象，该热固性树脂含浸纤维板通过将含浸了热固性树脂的一块片状纤维基材或多块片状纤维基材重叠而成的层压片材热压成形为板状并且具有表面层。

在本发明中，作为热固性树脂含浸纤维板，使用其表面层在其几乎整个范围内具有下述表面粗度的板，从用表面粗度测定器测定得到的剖面曲线中挑选起伏曲线，将由该起伏曲线沿其平均线的方向只抽取规定长度的评价部分中的距离前述平均线的最大波峰的高度尺寸Rp与最大波谷深度尺寸Rv进行求和得到的最大高度Ry为10μm以上。

用表面粗度测定器测定得到的剖面曲线可以认为是将频率低的即波长大的“起伏曲线”与由剖面曲线除去起伏曲线的成分获得的波长短的即频率高的粗度曲线合成而成。通常，起伏曲线的波长具有粗度曲线波长的30倍～100倍的大小。

所谓起伏曲线的“平均线”是表示将假想直线作为中心线，起伏曲线沿该假想直线延伸地转换起伏曲线时的前述假想直线。为了能够正确测定表面层的状态，必须使由起伏曲线在其平均线方向只抽取规定长度的评价部分的长度为足够长度。通常，优选由表面粗度测定器测定时设定的截止值的4倍～5倍的长度。

另外，所谓起伏曲线中的“波峰”是表示位于平均线和起伏曲线的多个交点中相邻的2个交点间并且在平均线上侧的曲线部分，所谓起伏曲线中的“波谷”是表示位于平均线和起伏曲线的多个交点中相邻的2个交点间并且在平均线下侧的曲线部分。