[发明专利]工业薄膜加工动力输送系统的故障预测方法

说明书

技术领域

本发明涉及动力输送系统的故障预测，更详细地涉及监测动力源的参数并分析这些参数以便发出警告指示。

背景技术

材料加工应用，例如通过应用等离子体的等离子体沉积与溅射为众所周知。这些加工需要动力输送系统。此动力输送系统通常提供一个接至等离子体室的射频(RF)或高压直流(DC)动力信号。在这种应用中，在材料加工期间动力源的不协调或故障会引起加工中材料的全部损失。这种损失会是昂贵的因而极不希望有的。

目前尚无一个半导体加工应用的动力输送系统监测动力输送系统的工作参数以便预测维护要求与防止动力输送系统故障。预测维护与故障的运行中(on-the-fly)监测系统的缺乏使得必需只通过动力输送系统的预定维护以防止这种中间过程期间的动力输送系统的不协调或故障。因此，不可能及时进行必需的维护，从而导致动力输送系统的不协调工作或故障。

目前的动力输送系统也不为制造商、销售商或工厂或用户提供任何方法以监测动力输送系统的工作或在远离动力输送系统的位置建立一个动力输送系统信息的历史数据库。远程监测与建立一个动力输送系统信息的历史数据库对于计划远程动力输送系统的要求的维护提供有价值的数据。远程监测与建立一个数据库还可以使能进行适用于相似地安装的动力输送系统的数据分析并帮助设计未来的动力输送系统。

由于目前的动力输送系统没有一个能进行远程的监测、分析与数据收集，因而动力输送系统需要技术人员出差到安装地点进行现场服务。或者，常由用户把发生故障的动力输送系统送回制造厂修理。由经培训的技术人员进行现场服务对用户来说会是昂贵的。另一方面，由于动力输送系统的工作与环境有很大关系，因而把动力输送系统拆卸并送回修理常导致此动力输送系统通过在服务中心进行的全部试验。此外，通常没有现场运行数据伴随着被送回的动力输送系统。

使用主控制器监测动力输送系统性能由于主控制器的速度限制证明是不合适的。因此，用于分析的关键信息必须直接从与主控制器无关的动力输送系统取得。目前的动力输送系统也不允许远程配置一个动力输送系统供诊断试验用。这要求或者技术人员出差至现场或者通过配置供诊断试验用的装置使服务中心进入制造厂。由于这样的配置处理既困难又消耗时间，用户在配置期间可能犯错误，因而只进行价值受限制的试验。因为这些困难常使合格的技术人员出差至动力输送系统现场成为必要，对有问题的系统进行服务所需时间需要材料加工系统的附加停机时间。

由于许多材料加工应用被材料加工者看作为高度秘密，因而材料加工者不愿意向远方地点甚至制造厂发送信息，以便保护关键的加工信息。另一方面，如果服务技术人员必须出差至动力共应系统现场以便建立并监督合适的数据记录/分析系统，这将增加费用并进一步减慢修理过程。

因此，提供一个用于监测动力输送系统的系统与一个用于远程监测动力输送系统的系统是合乎需要的。

发明内容

本发明针对一种监测动力输送系统的方法。此方法包括提供一个产生输出功率的功率发生器、一个监测由功率发生器产生的输出功率的传感器、与一个接收来自传感器的输入并提供控制信息以改变功率发生器工作的控制器等步骤。此方法还包括监测许多与动力输送系统有关的参数的步骤。把一组规则应用于这些参数以确定动力输送系统的工作状态。

本发明还针对一种远程监测动力输送系统的方法。此方法包括提供一个产生输出功率的功率发生器、一个监测由功率发生器产生的输出功率的传感器、与一个接收来自传感器的输入并提供控制信号以改变功率发生器工作的控制器等步骤。许多参数和的至少一个被传送至一个远方地点。许多与动力输送系统有关并被传送至此远方地点的参数被监测。一个在此远方地点的数据库贮存许多传送至此远方地点的参数。

从后面提供的详细描述，本发明适用的另外领域将变为显而易见。应懂得说明本发明优选实施例的详细描述与专门例子只打算用于说明的用途而不打算用来限制本发明的范围。

附图说明

从以下详细描述与附图，本发明将被更充分地了解，这些附图中：

图1是一个根据本发明的原理布置的动力输送系统的框图；

图2是一个根据本发明的原理布置的动力输送系统监测器的框图；

图3是一个动力输送系统监测器的工作流程图；

图4是一个根据本发明原理布置的动力输送系统与远程监测系统的框图；

图5是一个用于多个动力输送系统的远程动力输送系统监测系统的框图；

图6是一个用于监测在多处本地的多个动力输送系统工作的远程监测系统的框图；与