[发明专利]一种冷阴极溅射制备薄膜的方法及装置无效
| 申请号： | 02103673.X | 申请日： | 2002-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN1151314C | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | 于广华;朱逢吾;崔新发;滕蛟 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京科大华谊专利代理事务所 | 代理人： | 杨玲莉 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 溅射 制备 薄膜 方法 装置 | ||
【说明书】：
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