[发明专利]废水的处理方法及处理装置

说明书

                         技术领域

本发明涉及一种废水的处理方法及处理装置，所述处理方法及处理装置是对含有可气化的有机化合物的废水、和含有经气化可解吸放出的化合物(以下称可气化解吸放出的化合物)的废水同时进行处理的方法和处理装置。本发明又涉及一种就含有可气化的有机化合物和可气化解吸放出化合物的废水，对其中的有机化合物和可气化解吸放出化合物同时进行处理的方法和装置。虽然以下，关于上述可气化的有机化合物是以氢氧化四烷基胺为例，又关于可气化解吸放出化合物是以氨为例加以主要说明的，但本发明的处理对象不限于上述的氨和氢氧化四烷基胺。

                         背景技术

可气化解吸放出化合物的代表例可以举出氨，已知的现有处理废水中氨的方法是催化剂处理法和生物处理法。

上述催化剂处理法首先是将氨从废水中解吸，然后使氨与催化剂接触而氧化，分解成无害的氮气和水。(如特开平7-289897号公报)

上述生物处理法是利用微生物的作用，将废水中的氨变成氮气和水的方法。但生物处理法的处理效率低，要获得高效的处理能力需依赖于装置规模的放大，并且由于产生了剩余污泥，还会有处理这些污泥的问题。

又，作为废水中含有的需排出的物质，有无法用气体解吸实质放出，但可以使废水全部气化的可气化的有机化合物。这种有机化合物以氢氧化四烷基胺为例。作为含有氢氧化四烷基胺之类的有机化合物的废水的处理法，已知有焚烧法、微生物处理法、超临界水分解处理法。

上述焚烧法是将废水在高温下燃烧，使废水中含有的含氮有机化合物被氧化分解处理。此时，通常从例如上述氢氧化四烷基胺那样分子中含有氮的有机化合物(含氮有机化合物)会生成氮氧化物(NOx)。因为必须要配备使这种NOx变成更加无害的物质的处理设备，所以焚烧法存在设备大型化、建设费用高的缺点。

上述微生物法是通过微生物作用，使含氮有机化合物分解处理成无害的氮气、水、二氧化碳等的方法。该微生物处理法和上述焚烧法一样，处理效率低，处理设备必须大型化，还必须考虑剩余污泥的处理问题。

上述使用超临界水的分解处理法，是利用超临界状态水的物理和化学特性的方法。因为必须要控制在高温和高压状态下水才会处于超临界状态，所以对处理装置的耐热性、耐压性有严格的要求，且要得到高压，必须要有高压泵、高压压缩机等设备，所以设备花费很大。

本发明人为解决关于氢氧化四烷基胺等的净化处理的问题，就将上述氢氧化四烷基胺等含氮有机化合物变成氮气、二氧化碳等不需要后处理的无害气体，排出废水方法，已提出新的提案，并申请了专利(专利号2000-114086)。

                  发明内容

如上所述，就氢氧化四烷基胺等和氨分别进行处理的方法，已有人提出了方案，但还没有对含有上述两者的废水同时进行处理的方法。并且由于半导体装置制造工厂和各种化学工厂排出各种各样的废水，若针对被处理废水的种类和被处理的物质采用各种不同的处理装置，则会有必须为处理设备准备很大的场地，和需要很高的设备费用和运转成本的问题。

本发明的目的在于提供一种废水处理方法及处理装置，所述方法和装置能同时对不同种类的废水进行处理，即对含有氢氧化四烷基胺等和氨等的废水同时进行处理，由此，使废水处理装置简单、设备投入低廉的处理方法和处理装置。

从半导体装置制造工厂等排出的有代表的废液是含氨等可气化解吸放出的化合物的废水(以下称废水[B])，含氢氧化四烷基胺等有机化合物的废水(以下称废水[A])，以及，以含氨和氢氧化四烷基胺等有机化合物的废水。本发明人发现：若将氨和氢氧化四烷基胺(以下称TMAH)作为废水中的处理对象物质，则对于加热分解TMAH的分解生成物和氨，用以二氧化钛和二氧化硅复合氧化物为催化剂载体，含钒、钨、钯的催化剂(TiO₂·SiO₂·V·W·Pd)的同一催化剂作催化处理后，可以排出氮气(N₂)、氧气(O₂)、水(H₂O)、二氧化碳(CO₂)。