[发明专利]新型硅压阻式压力感测元件及其制造方法有效
| 申请号： | 02101658.5 | 申请日： | 2002-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN1433094A | 公开（公告）日： | 2003-07-30 |
| 发明（设计）人： | 龚诗钦;王宏达 | 申请（专利权）人： | 亚太优势微系统股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/00 | 分类号： | H01L49/00;G01L9/02;G01L1/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱黎光,张占榜 |
| 地址： | 台湾省台北市 信义*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 硅压阻式 压力 元件 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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