[发明专利]半导体显影剂无效
| 申请号： | 01822782.1 | 申请日： | 2001-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN1491374A | 公开（公告）日： | 2004-04-21 |
| 发明（设计）人： | 苏维扬;S·L·斯卓伯格;W·C·克劳弗德 | 申请（专利权）人： | 胡茨曼石油化学公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 显影剂 | ||
【说明书】：
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