[发明专利]CMP调节器、用于CMP调节器的硬质磨粒的排列方法以及CMP调节器的制造方法有效
| 申请号： | 01821022.8 | 申请日： | 2001-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1482959A | 公开（公告）日： | 2004-03-17 |
| 发明（设计）人： | 木下俊哉;桥野英儿;佐藤节雄;荒木隆一 | 申请（专利权）人： | 新日本制铁株式会社 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12;B24D3/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩;陈海红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | cmp 调节器 用于 硬质 排列 方法 以及 制造 | ||
【说明书】：
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