[发明专利]用激光结晶化法加工衬底上半导体薄膜区域的方法和屏蔽投影系统无效
| 申请号： | 01819257.2 | 申请日： | 2001-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN1476552A | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·S·埃姆 | 申请（专利权）人： | 纽约市哥伦比亚大学托管会 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B23K26/067;B23K26/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王宏伟 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 结晶 加工 衬底 上半 导体 薄膜 区域 方法 屏蔽 投影 系统 | ||
【权利要求书】：
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