[发明专利]折射反射光学系统和具有该折射反射光学系统的曝光装置有效
| 申请号： | 01817861.8 | 申请日： | 2001-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN1535392A | 公开（公告）日： | 2004-10-06 |
| 发明（设计）人： | 高桥友刀 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;顾红霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 折射 反射 光学系统 具有 曝光 装置 | ||
【权利要求书】：
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