[发明专利]刻蚀方法及在这种刻蚀中使用的框架部件、掩模及预制的基板部件无效
| 申请号： | 01817644.5 | 申请日： | 2001-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN1469941A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 佩·比德森;比加尼·比加纳森;米凯尔·加斯塔夫森;詹尼·斯乔伯格;斌·谢;加斯特·比令斯;乔兰·弗莱尼森 | 申请（专利权）人： | 奥博杜卡特股份公司 |
| 主分类号： | C25F3/14 | 分类号： | C25F3/14;H05K3/07 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 刻蚀 方法 这种 使用 框架 部件 预制 | ||
【说明书】：
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