[发明专利]低口径化学机械研磨系统无效
| 申请号： | 01814551.5 | 申请日： | 2001-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN1447734A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | M·A·萨尔达纳;J·M·博伊德;Y·戈特基斯;A·A·奥夫查尔茨 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B53/007 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 口径 化学 机械 研磨 系统 | ||
【权利要求书】：
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