[发明专利]超声波振动方法与超声波振动装置无效
| 申请号： | 01806660.7 | 申请日： | 2001-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN1418134A | 公开（公告）日： | 2003-05-14 |
| 发明（设计）人： | 富永守雄;岩桥真司 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02;H01L21/60 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯,叶恺东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声波 振动 方法 装置 | ||
【说明书】：
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