[发明专利]放射线图像传感器及闪烁器板

说明书

技术领域

本发明涉及检测用于医疗等方面的放射线图像的图像传感器以及将放射线图像变换为可用图像传感器检测出的光图像的闪烁器板。

技术背景

医疗、工业用的X射线摄影历来采用X射线感光胶片，而从便利性与摄影效果的保存性方面考虑，采用放射线检测元件的放射线成像系统正在普及。在这种放射线成像系统中，采用具有多个像素的放射线检测元件，将放射线产生的二维图像数据作为电信号取得，通过处理装置处理此信号而显示于监控器上。有代表性的放射线检测元件是在一维或二维排列的光传感器上配置闪烁器，由闪烁器将入射的放射线变换为例如可见光，组成检测结构。

典型的闪烁器材料CsI是吸湿性材料，会吸收空气中的水蒸汽(潮气)而溶解。结果将使闪烁器的特征尤其是分辨率恶化，因而必须采用使闪烁器免受潮气影响的保护结构。作为这种使闪烁器免受潮气影响的保护结构，已知有特开平5-196742号公报与特开平5-242841号公报、国际公开号WO98/36290与36291公报中分别公开的技术。

但是，特开平5-196742号公报与特开平5-242841号公报中所公开的技术不易形成防湿结构。国际公开号WO98/36290号与36291号公报中所公开的技术虽然解决了这类问题，但看来不能具有充分的强度。

发明内容

本发明的目的是提供充分兼具耐湿性和强度的保护手段的放射线图像传感器和闪烁器板。

为了实现上述目的，本发明的放射线图像传感器的特征在于具有：(1)由多个受光元件按1维或2维排列构成的图像传感器；(2)将在此图像传感器的受光表面上按柱状结构形成的放射线变换成能由此图像传感器探测到的波段的光的闪烁器；(3)紧密地覆盖闪烁器的柱状结构而形成的保护膜；(4)在此闪烁器的周边上与闪烁器隔离配置将保护膜固定于图像传感器上的框；(5)夹持此保护膜在与图像传感器相反一侧将此框固定设置的放射线透过板。

另一方面，本发明的闪烁器板的特征在于具有：(1)基板；(2)在此基板上形成柱形结构，将放射线变换成可透过上述基板的光的闪烁器；(3)紧密地覆盖此闪烁器的柱状结构而形成的保护膜；(4)在此闪烁器的周边上与此闪烁器隔离配置，将保护膜固定于图像传感器上的框；(5)具有夹持此保护膜的和基板在相反一侧通过上述框固定配置的放射线透过板。

本发明的放射线图像传感器也可以是上述闪烁器板和检测透过基板的光图像的检测器的组合形式。

本发明的闪烁器板与放射线图像传感器中，由于有保护膜紧密地覆盖于闪烁器上，就能使闪烁器不受潮气影响。还由于有固定配置于保护膜上的放射线透过板覆盖到保护膜上，也能确保强度。再由于保护膜、放射线透过板是通过框固定的，所以除易于制造外，也有助于确保整体的强度。

此框与放射线透过板之间的一部分中最好设置开口部。这样，由于放射线透过板与闪烁器周边之间的空间并未密闭，在制造中进行热处理等时，就能防止放射线透过板与基板以及图像传感器的变形与破损等。

此放射线透过板最好能相对于闪烁器发生的光具有反射性，例如可以采用金属板或放射线透过基板上具有反射膜如金属膜的形式。这里的放射性透过基板最好采用玻璃或树脂或碳质的基板。

通过使放射线透过板具有光反射性，由于在闪烁器上发生的光之中逆行向放射线入射面侧的光再次返回到闪烁器一侧，就能提高闪烁器输出的可见光的输出强度。

附图说明

图1是本发明的放射线图像传感器第一实施形式的剖面图，图2是图1中部分II的放大图，图3是图1的俯视图。

图4A～4D说明图1的图像传感器的制造过程。

图5A～5D说明本发明的放射线图像传感器第二实施形式及其制造工序。

图6A～6D说明本发明的放射线图像传感器的第三实施形式及其制造工序。

图7是本发明的放射线图像传感器的第四实施形式的剖面图，图8是其部分VIII的放大图。

图9是本发明的放射线图像传感器的第五实施形式的剖面图。

图10是其部分X的放大图。

图11是本发是的闪烁器板的第一实施形式的剖面图。

具体实施方式

下面参照附图详述本发明的最佳实施形式。为使于理解此说明，在各附图中对于同一部件尽可能附以相同的标号而略去其重复性说明，此外，各附图中的尺寸与形状未必与实际情形一致，为易于理解，有些部分已加以放大。

图1是本发明的放射线图像传感器第一实施形式的剖面图，图2是图1中一部分的放大图，图3是图1的俯视图。