[发明专利]移动装置的位置误差评价方法和根据其评价结果改善移动精度的方法

权利要求书

1.一种移动装置的位置误差评价方法，包括以下步骤

在相互垂直的二轴或三轴方向上移动可移动物体的移动装置中，由连续二点法获得表示所述可移动物体在沿所述二轴或三轴方向中预定的单轴方向上位置误差变化状态的直线误差曲线，对于所述二轴方向中的另一单轴方向重复上述步骤，所述的位置误差与垂直于所述预定二轴方向的一个方向有关；

根据一组已获得的所述直线误差曲线二端的坐标位置，获得表示在可移动物体沿另一单轴方向的位置误差中的变化状态的直线误差曲线，所述位置误差与垂直于所述预定二轴方向的那个方向有关，并在作为边界直线误差曲线的二端的坐标位置上设置直线误差曲线；

根据所述的边界直线误差曲线，通过修正所述直线误差曲线组的排列来获取误差表面；以及

在包括所述预定二个轴线的平面上，根据所述误差表面评价所述移动物体的二维位置误差，所述的二维位置误差与垂直于平面的一个方向有关。

2.一种移动装置的位置误差评价方法，包括以下步骤：

根据权利要求1所述的方法，在预定的坐标范围内在三个轴的每个轴线方向上以关于垂直于包括所述预定二轴线的平面的单轴方向重复获得所述误差表面这样的方式，获取误差空间；

根据所述误差空间，在所述预定坐标范围内的空间中，评价所述可移动物体的三维位置误差。

3.如权利要求1或2所述的移动装置位置误差评价方法，其中在由所述连续二点法已获得位置误差处的各个点中的一个中间点上，根据位置误差的特性，借助于一维或多维插入法获得位置误差。

4.一种改善移动装置三维位置精度的方法，包括如下步骤：

在用于控制所述移动装置运行的控制装置中保持数据，所述的数据表示由根据权利要求2和3之一的方法所获得的所述误差空间；及

利用在误差空间数据中用于补偿误差的修正关系式，修正由所述移动装置移动的所述可移动物体的位置。

5.一种如权利要求4改进移动装置三维位置精度的方法，还包括以下步骤：

根据围绕所述移动装置周围环境的变化，预先获得所述误差空间数据；及

根据使用所述移动装置，通过使用用于补偿所述误差空间数据中的误差的修正关系式，修正由所述移动装置所移动的所述可移动物体的位置，所述误差空间数据对应于围绕使用中所述移动装置周围的环境。