[发明专利]基片传送装置

权利要求书

1.一种基片传送装置，其特征在于具有：

第1传送部，用于从存放基片的存放容器中取出基片和存放基片；以及

第2传送部，用于与该第1传送部之间进行上述基片的接收传递，而且在对基片进行所需处理的设备单元之间接收传递基片，

上述第1传送部和第2传送部分别分离独立地构成，而且，第1传送部相对于第2传送部至少布置在2个接传方向中的某个接传方向上。

2.如权利要求1所述的基片传送装置，其特征在于：

上述第2传送部与设备单元形成一体化，而且第一传送部相对于第2传送部至少布置在2个方向的接传位置上。

3.如权利要求1所述的基片传送装置，其特征在于：

上述第2传送部由以轴向为中心进行旋转的旋转轴及被设置在该旋转轴上的许多个传送臂而构成，通过以旋转轴为中心来旋转传送臂，可把传送臂循环地输送到与第1传送部接传的位置、以及与设备单元接传的位置上。

4.如权利要求1所述的基片传送装置，其特征在于：

第1和第2传送部之间的上述基片的接传间隔被设定在第1传送部的传送行程范围内。

5.权利要求1所述的基片传送装置，其特征在于具有：

第1基片传送臂，其设置在第1传送部上；

第2基片传送臂，其设置在第2传送部上；

第1手，其在第1基片传送臂的前端部进行弯曲而制成，用于对基片进行吸附保持；以及

第2手，其与第2基片传送臂的前端部相连结上形成L字形，其具有接传空间以便第1手进入，用于对基片进行吸附保持，

在上述弯曲的部分形成避免与第2手的长边相碰的退让部，第1手从上述至少2个接传方向进入第2手的接传空间。

6.如权利要求1所述的基片传送装置，其特征在于具有：

第1基片传送臂，其设置在第1传送部上；

第2基片传送臂，其设置在第2传送部上；

第1手，其在第1基片传送臂的前端部进行弯曲而制成，用于对基片进行吸附保持；以及

第2手，其与第2基片传送臂的前端部相连结，大体上形成L字形，其具有接传空间以便第1手进入，用于对基片进行吸附保持；以及

位置对准用检测器，其被设置在接传位置上，用于检测基片的外围缘，以便对基片进行中心位置对准，

在上述弯曲的部分形成退让部，以避免与上述大体上呈L字形的第2手的长边碰撞，而且该退让部不妨碍对准用检测器。

7.如权利要求1所述的基片传送装置，其特征在于：

第1传送部的构成部分是：

多关节臂，其连结许多个臂，能进行伸缩动作；以及

第1手，对该多关节臂的前端部进行弯曲而设置，用于对基片进行吸附保持，

第2传送部的构成部分是：

旋转轴，其以轴向为中心而进行旋转；以及

多个传送臂，其相对于该旋转轴分别按相等角度的间隔进行设置，其第2手大体上形成L字形，其中具有接传空间以便第1手进入，用于对基片进行吸附保持。

8.如权利要求1所述的基片传送装置，其特征在于：

在上述本发明的基片传送装置中，第2传送部的构成部分有：

旋转轴，其以轴向为中心进行旋转；

多个传送臂，其相对于该旋转轴分别按相等角度的间隔进行设置；

L字形的手，其设置在这些传送臂的前端上；以及 

吸附孔，其设置在该手上，用于对基片进行吸附，

当在第1和第2传送部之间接传基片时，在第1传送部内所保持的基片的中心进入连接上述手的两个前端的连结线的内侧。

9.如权利要求1所述的基片传送装置，其特征在具有：

第1基片传送臂，其设置在第1传送部上；

第2基片传送臂，其设置在第2传送部上；

第1L形手，其形成在第1基片传送臂的前端部上，呈L形，用于对基片进行吸附保持；以及

第2L形手，其与第2基片传送臂的前端部相连结，形状为L型，具有接传空间，以便插入和取出第1L形手，用于对基片进行吸附保持，

当在第1L形手和第2L形手之间接传基片时，第1L形手的各手指尖的连结线上的大体中心位置进入第2L形手的各手指尖的连结线的内侧。

10、一种基片传送装置，用于对基片上的缺陷进行以目视方式的检查的宏观观察，以及对基片进行各种检查和测量，该基片传送装置的特征在于具有：

第1传送部，用于从存放基片的存放容器中取出基片和存放基片；以及

第2传送部，用于与该第1传送部之间进行基片的接收、传递，而且在对基片进行所需处理的设备单元之间接收传递基片，

第1传送部的构成部分是：

多关节臂，其连结许多个臂能进行伸缩动作；以及

第1手，其在该多关节臂的前端部进行弯曲，用于对基片进行吸附保持，

第2传送部的构成部分是：

旋转轴，其以轴向为中心而进行旋转；以及

3个传送臂，其相对于该旋转轴分别按相等角度的间隔进行设置，其第2手大体上形成L字形，其中具有接传空间以便第1手进入，用于对基片进行吸附保持。

3个传送臂分别以旋转轴为中心进行旋转，在与第1传送部的接传位置、用于宏观观察的位置、以及与第2传送部的接传位置之间进行循环传送，第1和第2传送部分别分离独立地构成，而且，第1传送部相对于第2传送部被设置在第1接传方向上，或者相对于该第1接传方向相差约90度的第2接传方向上，

设备单元有：

微观检查单元，其利用显微镜来对基片进行放大，对该放大图像进行观察；以及

膜厚测量单元，用于测量在基片上形成的膜厚。

这些单元中的某一单元被组装到第2传送部内。