[发明专利]多协议环境中的自动工具管理

说明书

本发明涉及以下共同拥有的共同未决美国专利申请：

临时申请序号60/216,819，申请日期2000年7月7日，并且申请依据35 U.S.C.119(e)的最早申请日权利；以及

申请序号09/496,009，“基于Web的工具管理装置和方法”(代理审查号21183-P001US)，申请日期2000年2月1日，本申请为该申请的继续部分。

本发明涉及生产工艺，更确切地说，涉及提供一种在多协议环境中控制生产设备的机制。

现代生产设备依赖高度自动化的工具实现生产工艺。例如，半导体制造(“fab”)设备安装高度自动化的成套工具生产半导体片。通过一组软件方法调停过程控制和监控，其中调用软件方法实现加工和监控。控制和监控软件在工具服务器上运行，以点对点方式，经由许多端口将工具服务器连接到工具，各端口连接工具服务器和特定工具。作为选择，工具服务器中的工具可以驻留在局域网(LAN)上。为了控制生产工艺，用户必须能够通过驻留在LAN上的用户系统，或者通过与工具服务器通信，与工具服务器通信。特别地，在现有范围内，为控制和监控工具状态而远程访问工具服务器，需要开发在提供远程访问的各种平台上实现的专用代码。然而，现代数据处理系统通常提供各种各样的先前存在的软件应用程序，如浏览器和电子表格软件，这些软件包括面向对象的应用间或进程(过程)间通信的功能。这些功能有助于跨越不同平台和软件环境的进程间通信。因此，需要一种使接口连接应用软件适应生产设备的系统和方法，其中接口连接应用软件使用各种各样的面向对象的过程间通信协议。另外，此类接口连接系统和方法应适应传统工具控制、监控应用以及实施安全策略。

在某些实施方式中，通过推动使用各种各样的面向对象的进程间通信协议的生产设备在不同平台和软件环境中的进程间通信，至少部分解决上述问题。

在一种实施方式中，用于自动工具管理的过程包括以下步骤，使用应用程序的用户以各种方式，如广域网(WAN)、局域网(LAN)等，根据面向对应的应用间协议，或(等效的对象到对象协议)，如组件对象模型(COM)、Java^TM远程方法调用(RMI)、公用对象请求代理体系结构(CORBA)、简单对象访问协议(SOAP)或诸如超文本传输协议(HTTP)之类的网络传输协议，发出消息。该消息可以为执行特定操作的请求，如，从工具中抽取特定信息，将与工具对象有关的变量或参数设置为某个特定值。与工具有关的对象可以定义工具的状态。

由相应的应用程序接口单元接收该消息。可以配置应用程序接口单元以连接诸如OBEM之类的设备模型和用户。也可以进一步配置应用程序接口单元以抽取所接收的消息的内容，接收的消息包括所请求的操作需要的数据。该消息可以包括设备模型中对象的指针，其中设备模型表示要在其上执行操作的工具。应用程序接口单元可以调用消息中的指针指向的对象的方法，并向该方法传送组成消息内容的数据。该方法可以提供远程对象访问，而远程对象访问允许执行远程诊断和修修理。

设备模型可以获得与消息中所请求的操作和数据有关的数值。亦即，可以将该数值与某个工具的消息中请求的特定信息联系起来，如，温度、压力、状态或通知用户发生事件(警报解除)的通告。设备模型可以根据用户应用提供的地址向正确用户传送该数值。

以上概括介绍了本发明的特征和技术优势，目的是更好地理解本发明的详细说明书。以下说明构成本发明之权利要求主题的本发明的附加特征和优点。

通过连同附图考虑以下详细说明书，将更好地理解本发明，其中附图为：

图1表示根据本发明配置的系统的一种实施方式；

图2表示本发明的工具服务器的一种实施方式；

图3表示为在多协议环境中提供自动工具管理而配置的本发明的程序的软件体系结构的一种实施方式；

图4表示根据本发明配置的设备模型的统一建模语言(UML)图；

图5表示根据本发明配置的典型设备模型的图形用户界面(GUI)；

图6表示根据本发明配置的另一种典型GUI的一部分；

图7是一个流程图，表示通过设备模型从工具中检索信息和/或向工具发出服务请求的方法；

图8是一个流程图，表示用于工具访问控制的方法；以及

图9表示本发明的安全封装器体系结构的一种实施方式。

在以下说明中，阐述了大量的特定细节以便全面理解本发明。例如，提到了特殊的消息格式和应用间通信协议，然而，一般技术人员理解，可以在没有此类特定细节的情况下实现本发明。在其他实例中，以框图形式表示熟知电路，以防止在不必要的细节中混淆本发明。