[发明专利]光盘原盘、其制造方法、加工方法和加工装置以及光盘基片及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及光盘原盘的加工工序。特别是涉及光盘原盘的加工方法、使本发明的方法成为可能的加工装置以及用它们制造的光盘原盘和用该原盘形成的光盘基片。

背景技术

作为用来提高光盘的记录密度的记录方式，人们提出了脊背和沟槽方式。该记录方式是把在沿着沟槽形成的螺旋状或同心圆状的沟槽记录道和沿着与沟槽相邻的脊背形成的螺旋状或同心圆状的脊背记录道这两方上记录信息的方式。然后，在沟槽和脊背的各个开头部分处形成存放地址信息或控制盘的旋转的同步图形等的预格式化信息的前置坑群。为了使该沟槽记录道和脊背记录道的信号电平相等，沟槽的沟宽和与沟槽相邻的脊背的宽度变成为大体上相等。另一方面，前置坑群要用比沟槽的沟宽还细的宽度形成。

为了加工这样的物理格式，人们知道要用加工沟槽的激光光束，加工与沟槽记录道位于同一螺旋上或同一圆周上的前置坑群的激光光束，和加工与脊背记录道位于同一螺旋上或同一圆周上的前置坑群的激光光束，

这么3个激光光束使玻璃原盘上的感光性材料暴光。

但是，倘采用该现有技术，则存在着校对环规装置的光学系统巨大化、复杂化这样的问题。此外，防止激光光束的干涉是一件困难的事情。还有，由于分别加工沟槽记录道上的前置坑群和脊背记录道上的前置坑群的激光光束不同，在其品质上易于产生差异。再有，当要进行前置坑群的品质的精确吻合时，使沟槽品质最佳化将成为一个难题。

另一方面，还可以考虑使用光偏向器用1个激光加工沟槽和前置坑群。但是，由于沟槽和前置坑群必须形成不同的宽度，故要使它们最佳化是困难的。此外，加工沟槽记录道上的前置坑群时的激光光束的偏向量，与加工沟槽时的激光光束相同，大体上为0，而加工脊背记录道上的前置坑群时的激光光束的偏向量大体上相当于记录道节距那么大的量。归因于产生由该偏向引起的偏向器的衍射效率的差和光学性的象差等，会产生两者的前置坑特性的平衡变坏的问题。

发明的公开

本发明是解决上述那些问题的发明，是用1个激光光束对上述物理格式的光盘原盘进行前置坑群加工的发明。这样一来，就使高品质且平衡良好地加工沟槽记录道上的和脊背记录道上的前置坑群成为可能。此外，用另外的1个激光光束进行沟槽加工。借助于此，就可以进行与各自的特性相吻合的激光光束形成。

此外，本发明，在校对环规装置中，把光偏向器装载到加工前置坑群的激光光学系统的光路上。把未对该激光光束施行光偏向的情况下的落射位置，定为相对于沟槽加工用激光光束的落射位置来说，恰好为记录道节距的大体上1/2的辐射方向(半径方向)上不同的位置。就是说，要把前置坑群加工用的激光光束调整为使得它落射到沟槽记录道和脊背记录道的大体上的中央。

再有，要借助于光偏向器，使前置坑群加工用的激光光束，在沟槽记录道一侧的加工时和脊背记录道一侧的加工时，变成为大体上同一偏向量。此外，还要借助于激光功率的独立控制对因偏向方向的不同而产生的衍射效率的微妙的差进行修正以使之最佳化。此外，还要根据沟槽记录道上和脊背记录道上的各个位的长度分别控制最佳激光功率地进行加工。

附图的简单说明

图1是在本发明的一个实施例的光盘原盘的加工方法中使用的暴光装置的概略构成图。

图2示出了上述实施例的光盘原盘的加工方法中的激光光束的扫描路径。

图3是为了实现图2所示的激光扫描由信号发生器输出的控制信号的时序图。

图4的曲线图示出了从光调制器输出的控制前置坑加工用激光光束的激光功率的调制信号电平，与用该激光光束加工前置坑群的情况下的不对称性的测定结果之间的关系。

图5对未独立控制激光功率的情况和独立控制激光功率的情况，比较前置坑群的不对称性。

优选实施例

以下，用附图对本发明的一个实施例的光盘原盘的加工装置和方法进行说明。

图1是在本发明的一个实施例的光盘原盘的加工方法中使用的暴光装置的概略构成图，该图特别示出了激光光束的光路。该暴光装置具备产生激光光束的激光装置101、根据控制信号控制激光功率的光调制器107和108、切换前置坑群加工用激光光束的照射位置的光偏向器111和使玻璃基片旋转的旋转工作台118。