[发明专利]通孔内异物检查方法及装置

权利要求书

1.一种通孔内异物检查方法，其特征在于：通过线传感摄像机的相对的平行移动，获取透过多个同一尺寸的通孔的光作为图像数据，相互比较接收上述图像数据中各个透过光线的区域的大小，进行异物有无的判定。

2.一种通孔内异物检查方法，其特征在于：通过面积传感摄像机，以单个通孔为单位或包括多个通孔的组为单位，获取透过多个同一尺寸的通孔的光线作为图像数据，相互比较上述图像数据中与各个通孔对应的光接收区的大小，进行异物有无的判定。

3.权利要求1或2的通孔内异物检查方法，其特征在于：在对与上述通孔对应的光接收区的数目进行计数和判定之后，相互比较光接收区的面积。或者对上述光接收区的面积进行编号，相互比较编号后光接收区的面积，进行异物有无的判定。

4.权利要求1或2的通孔内异物检查方法，其特征在于：对上述光接收区的面积进行编号，相互比较编号后光接收区的面积，进行异物有无的判定。

5.一种通孔内异物检查方法，其特征在于：通过线传感摄像机的相对的平行移动，获取透过多个同一尺寸的通孔的光线作为图像数据，根据相邻通孔之间的光接收区差别的大小，比较接收上述图像数据中各个透过光线的区域的大小，进行异物有无的判定。

6.一种通孔检查方法，其特征在于：在使线传感摄像机或面积传感摄像机的摄像焦点离开工件的表面的情况下来进行摄像。

7.权利要求6的通孔检查方法，其特征在于：在使线传感摄像机或面积传感摄像机的摄像焦点离开工件的表面的情况下来进行摄像，从而扩大所述透过的光线的图像面积。

8.一种通孔内异物检查装置，它包括：

设置在开有多个通孔的工件的一侧的光源和设置在所述工件的另一侧的线传感摄像机，所述工件设置在所述光源和所述线传感摄像机之间；

平行移动机构，它使上述工件和线传感摄像机相对平行移动，以便使上述线传感摄像机可以一次检测透过多个通孔的光线；以及

图像处理装置，它接收由上述线传感摄像机提供的图像信号，以便获得与上述工件内的所述多个通孔对应的多个2值化图像数据；

其中，所述图像处理装置配备有根据与所述各个通孔对应的光接收区之间的偏差判定所述通孔内有无异物的判定装置。

9.一种通孔内异物检查装置，它包括：

设置在开有多个通孔的工件的一侧的光源和设置在所述工件的另一侧的面积传感摄像机，所述工件设置在所述光源和所述面积传感摄像机之间；

平行移动机构，它使上述工件和面积传感摄像机相对平行移动，以便使上述面积传感摄像机可以检测透过所述多个通孔中每一个单独的通孔的光线或者一次检测透过所述多个通孔的光线；以及

图像处理装置，它接收由上述面积传感摄像机提供的图像信号，以便获得与上述工件内的多个通孔对应的多个2值化图像数据；

其中，所述图像处理装置配备有根据与各个通孔对应的光接收区之间的偏差判定通孔内有无异物的判定装置。

10.一种通孔检查装置，其特征在于：这样设定上述传感摄像机和上述工件的相对位置，使得上述线传感摄像机或上述面积传感摄像机的摄像焦点离开上述工件的表面。

11.权利要求10的通孔检查装置，其特征在于：这样设定上述传感摄像机和上述工件的相对位置，使得上述线传感摄像机或上述面积传感摄像机的摄像焦点离开上述工件的表面，从而可以在扩大所述透过的光线的摄像面积的情况下进行摄像。