[发明专利]放电脉冲发生装置

说明书

发明领域

本发明涉及向例如放电加工机、激光振荡器以及粒子加速器等使用的向一对电极之间提供电力的放电脉冲发生装置的改良。

背景技术

图17是已有的放电脉冲发生装置的电路结构图，表示放电加工机的放电脉冲发生装置的例子，在图17中，1是电极，2是被加工物体，3是直流电源，4是电阻器，5是电容器(静电电容量C)，L是配线上存在的电感。直流电源3与电阻器4形成的充电电路连接于电容器5。又，电极1与被加工物体2浸渍于水或油等加工液中。由于上述充电电路使电容器5的电压上升，一旦电极1与被加工物体2之间的极间间隙的加工液绝缘受到破坏，电容器5贮存的能量就在电极1与被加工物体2的电极之间流动。这时的放电电流Ig形成图18所示的LC振荡的衰减振荡波形。

在图18中，t是时间，最初的电流i₁是LC振荡的谐振频率的半周的电流，接着的电流i₂是与电流i₁相反极性的电流，再接着的电流i₃是与电流i₂相反极性的电流，这样的多次振荡的电流在上述极间流动。最初的电流i₁的脉冲宽度是短脉冲(T₁)，多次振荡的电流停止的脉冲宽度变得相当长(T)，这段时间放电连续发生，作为一个整体形成一个1次的放电脉冲。在使用这样的已有的放电脉冲发生装置进行放电加工时，不是利用短脉冲T1进行加工，而是脉冲宽度比较大的脉冲T进行加工，因此，存在对被加工物体2进行细微的加工有困难的问题。

又，在图17所示的已有的放电脉冲发生装置中，如图18所示，由于流动着两极性放电电流，即使设定得使在某一极的电极消耗很小，电流也必定向电极消耗大的方向流动，由于电极消耗变大，存在进行高精度加工有困难的问题。

图19是日本专利特开平7-266133号公报公开的已有的放电脉冲发生装置的另一种结构的电路图，在图中，1是电极，2是被加工物体，3是直流电源，4是电阻器，6是晶体管，7是控制手段，8a和8b是一端开放的同轴电缆(特性阻抗分别为Z₀a、Z₀b)，9a和9b是连接于同轴电缆8a和8b的调整用的阻抗(阻抗分别为Za、Zb)。

图20表示图19的已有的放电脉冲发生电路的电极1与被加工物体2之间的极间放电电流Ig的例子。图20(a)表示阻抗Za和Zb分别与特性阻抗ZOa、ZOb相等的情况下的放电电流Ig，图20(b)表示阻抗Za和Zb分别为特性阻抗ZOa、ZOb的一半的情况下的放电电流Ig。图中t为时间。从图中可知，如图20(a)所示，上述图中调整用的阻抗与上述特性阻抗相等的情况下放电电流Ig是没有振荡的脉冲状电流波形，而如图20(b)所示，上述调整用的阻抗与特性阻抗不同的情况下，放电电流为与图18的放电脉冲发生装置的放电电流相同的振荡的电流波形。

亦即在图19的已有的放电脉冲发生装置中，得到没有振荡的脉冲状的放电电流波形只是限于调整用的阻抗与同轴电缆的特性阻抗相等的情况，因此存在因连接调整用的阻抗而导致放电电流峰值降低一半的问题。

发明内容

本发明是为解决上述课题而作出的，其目的在于得到能够提高放电电流脉冲的峰值的放电脉冲发生装置。

又，本发明的目的在于得到能够把放电电流脉冲的峰值任意设定为所希望的数值的放电脉冲发生装置。

又本发明的目的在于得到使用于放电加工的情况下适用于精细加工同时能够降低电极消耗的放电脉冲发生装置。

本发明的放电脉冲发生装置是对一对电极提供电力的放电脉冲发生装置，具备：一个终端连接于所述电极的至少一条规定长度的分布常数线路、连接于所述分布常数线路，对所述分布线路的静电电容进行充电用的充电手段、在所述分布常数线路的另一终端连接，并且连接在对所述充电手段的电压没有电流流动的方向上的整流手段、以及与所述整流手段串联连接，具有与所述分布常数线路的特性阻抗相同的电阻值的电阻器。