[发明专利]保持架机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种保持架机构，适用于检查例如液晶显示器(LCD)等平板显示器(FPD)上所用的玻璃基片，检测缺陷等的基片检查装置。

背景技术

在LCD上所用的玻璃基片的缺陷检查中，进行称为宏观观测的检查和称为微观观测的检查。其中宏观观测是在玻璃基片的表面上照射照明光，通过检查人员的目视观测其反射光或穿透光的光学变化，检测出玻璃基片表面上的伤痕等缺陷。

在该宏观观测时，将玻璃基片保持在基片检查装置的保持架上，在该状态摇动上述保持架，通过检查人员的目视观测上述玻璃基片的表面。当还要继续观测上述玻璃基片的背面时，将上述玻璃基片翻过来，与上述一样摇动上述保持架，通过检查人员的目视观测上述玻璃基片的背面。

在上述的宏观观测或用显微镜的微观观测时，可进行对多数尺寸玻璃基片的检查。

图14是表示在现有例的基片检查装置中所用的基片保持架的构成图。基片保持架1由形成四边形框状的保持架框2构成。在该保持架框2内，从背面支持FPD玻璃基片的图中未画出的支持板条或支持销，按规定的间隔均等设置。另外，沿着保持架框2的右侧和下侧的框，分别固定设置基准销3a、3b和3c、3d，并且沿着保持架框2的上侧和左侧的框，分别设置压紧销4a、4b和4c、4d。这些压紧销4a、4b和4c、4d分别在各压紧方向f1、f2上赋能，将玻璃基片8压紧在基准销3c、3d和3a、3b上，对玻璃基片8进行定位。各压紧销4a、4b和4c、4d分别在各可动孔5a、5b和5c、5d内，可以向各压紧方向f1、f2移动。

另外，在保持架框2的上侧和下侧的框上，分别形成基准销单元安装部7a、7b。在这些基准销安装部7a、7b上通过螺钉安装有为设定不同尺寸玻璃基片基准位置的基准销单元(板条)6。基准销单元6对尺寸小的玻璃基片的基准位置进行设定。在基准销单元6上固定设置2个基准销6a、6b。

图15是表示在上述基片保持架上保持大型玻璃基片的状态图。在用上述基片保持架1对大型玻璃基片8进行宏观观测(或微观观测)时，通过检查人员的手动操作，从保持架框2取下基准销单元。在该状态，当在保持架框上设置有大型玻璃基片8时，分别在压紧方向f1、f2上压出压紧销4a、4b和4c、4d，大型的玻璃基片8的二边分别接触在基准销3c、3d和3a、3b上，这样，大型玻璃基片8将被定位。

图16是表示在上述基片保持架上保持小型玻璃基片的状态图。在用上述的基片保持架1对小型玻璃基片9进行宏观观测(或微观观测)时，通过检查人员的手动操作，在保持架框2上安装基准销单元6。在该状态，当在保持架框2上设置小型玻璃基片9时，分别在压紧方向f1、f2上压出压紧销4b和4c、4d，使小型玻璃基片9的二边分别接触到基准销3d和6a、6b上，这样，小型玻璃基片9将被定位。

在上述的基片保持架1上，例如在大型玻璃基片8的宏观观测后进行小型玻璃基片9的宏观观测时，为了变更该小型玻璃基片9的基准位置，必须通过检查人员的手动操作安装基准销单元6。该基准销单元6通过螺钉固定等办法安装，使基准位置不动，但是该安装、拆卸作业非常麻烦，花费时间。因此在尺寸不同的玻璃基片混合存在的批量中，在基准销单元6的装卸作业上花费时间，很难提高检查的效率。另外，随着玻璃基片8的大型化，保持架框2也变得大型化。因此，在安装基准销单元6时，有时检查人员的手够不到基片保持架1的里边，无法进行螺钉固定。另外由于该作业产生的麈埃，将产生基片检查装置净化度降低的问题。

本发明的目的在于提供一种保持架机构，可以简单地进行基准构件对尺寸不同的玻璃基片变更作业。

发明的公开

(1)本发明的保持架机构包括：保持被保持体的保持架框；设置在上述保持架框上，压紧上述被保持体的固定基准构件；根据上述被保持体的尺寸，相对于上述保持架框可以移动，压紧上述被保持体的可动基准构件；在上述保持架框的横向和纵向上至少各设置一个，使上述被保持体向上述固定基准构件或上述可动基准构件压紧的压紧构件；及驱动上述可动基准构件的驱动部。

(2)本发明的保持架机构是上述(1)中所述的机构，并且上述可动基准构件多组设置在对应于多数上述被保持体尺寸的位置上。

(3)本发明的保持架机构是上述(1)或(2)中所述的机构，并且上述固定基准构件多个设置，使上述被保持体的相邻二边压紧。

(4)本发明的保持架机构是上述(2)中所述的机构，并且上述驱动部根据在上述保持架框上所保持的被保持体尺寸，选择性驱动多组上述可动基准构件。