[发明专利]离子溅射泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种离子溅射泵，该离子溅射泵可应用于从例如电子显微镜和加速器等的电子束所经过的空间排气的场合。

背景技术

众所周知，离子溅射泵具有在真空容器内设置的阳电极和阴电极，在两电极间加上高电压，应该被排气的残留气体分子与在磁场的作用下螺旋运动着的电子相碰撞而被离子化，溅射阴极而吸附到阳极的表面上，从而进行排气。

作为这种离子溅射泵的公知的一个例子，电子显微镜用离子泵公开在实公平3-48838号公报上，在该离子泵中，两个环状的磁铁被安装在轭铁上，而这两个磁铁则把具有阳极功能的离子吸附用零件夹在中间，磁极片放置在这些环状磁铁的泄漏磁力线的磁路中，中心轴方向的泄漏磁力线几乎全部通过磁极片，能够使泄漏磁力线集中。

还有，特公平7-59943号公报上公开了另外的公知的离子溅射泵，在该离子泵中，圆筒形的真空容器内，两个环状的阴极相对地配置，并上下夹着由多个圆筒体结合而成的环状阳极，与这些环状阴极及阳极相对应的形状的两个环状永久磁铁上下夹持着真空容器地设置在真空容器的外侧。

在这些公知的离子溅射泵中，两个环状的永久磁铁把两个环状阳极上下夹着放置，存在着与中心轴平行的相当大的磁场。就与中心轴垂直的径向磁场来说，若两个环状永久磁铁具有同样大小及同样特性，并且装配得完全同轴，则中心轴上的径向磁场为零，当稍微离开中心轴一点(例如0.5～1mm)时，就存在着相当大的磁场。但实际上磁铁的特性是有偏差的，所以中心轴上的径向磁场不为零而是相当大。

另外，在实公平3-48838号公报上公开的结构中，由于存在着轭铁回路，所以有泵的自身变重的问题。

还有，由于磁铁相对排列，存在泄漏磁场大、电子束偏移等不利影响这样的问题，也就是说当泄漏磁场变大时，加速器和电子显微镜中的电子束被弯曲，其结果就产生了电子像模糊、电子束的电流值减小等问题。特别是像特公平7-59943号公报上记载的那样，没有使用支撑部件的结构，再加上以上的问题，永久磁铁发生的磁场就会对周围的计量器具产生不利的影响。

进一步说，在泵的特性上，为了达到极高的真空度，尽可能减小装在真空容器内部的各部件的表面积是非常重要的。但在像上述那样的以前的离子溅射泵中，由于阴极以及真空容器的内壁表面积较大，从其中排放出的气体量比较多，所以泵的达到压力就被限制。

发明的展示发明目的

因此，本发明的目的是提供一种离子溅射泵，它解决了以前的这些技术问题，能够使结构简单且小型轻量化，使中心轴附近的磁场无论径向还是轴向都能为零，使泵的达到压力提高。技术方案

为了完成上述目的，本发明的离子溅射泵具有以下特征：真空容器壁筒状部分的横截面形状为凹凸形状，在该凹凸横截面形状筒状部分的外侧各凹部中朝向同一个磁极方向地设置分别具有同一形状、同一特性的永久磁铁，在该凹凸横截面形状筒状部分的内侧各凹部中分别与真空容器壁离开地设置筒状的阳极，将真空容器壁的筒状部分作为阴极，在真空容器内，周围上开有排气孔的筒状磁屏蔽部件与上述多个永久磁铁及多个阳极同心状地配置，将多个永久磁铁及多个阳极分别轴对称、等间距地排列。

在真空容器周围部分外侧的各个凹部设置的永久磁铁可作成楔形的多边形或圆形的柱状体，该柱状体的与真空容器的中心轴方向垂直的横截面为向外扩大的楔形。

另外，在真空容器周围部分内侧的各个凹部中设置的阳极可作成楔形的圆筒形或多边形的筒状体，该楔形的筒状体在真空容器中心轴线方向的投影图为向外扩大的形状。

真空容器周围部分的外侧及内侧的凹部被交替地排列，多个永久磁铁及多个阳极被交替地排列着。

最好是设有凹部的真空容器的周围部分及磁屏蔽部件是圆筒形的，在该凹部放置多个永久磁铁及多个阳极，多个永久磁铁及多个阳极可以轴对称地排列在基本同一个圆周上。

附图的简单说明

图1是表示本发明的离子溅射泵的一实施例的概略横截面图。

图2是图1沿A-A方向的离子溅射泵的概略纵截面图。

图3是表示图1所示的离子溅射泵中的永久磁铁排列的概略立体图。

图4是表示图1所示的离子溅射泵中的圆形磁屏蔽部件的概略立体图。

图5是表示图1所示的离子溅射泵中的六边形磁屏蔽部件的概略立体图。

实施本发明的最佳形式

以下参照附图就本发明的实施例加以说明。