[发明专利]定电压电源电路、定电压电源电路基板及定电压施加方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种定电压电源电路、定电压电源电路基板及定电压施加方法。

本发明专利申请对应于下列日本专利申请。在此一并提出，作为本申请的一部份以供参考。

特愿2000-3970      申请日平成12年1月12日

背景技术

半导体测试装置是在半导体器件等的负载施加固定电压，来测定电流值的半导体集成电路的电性试验。此种半导体测试装置必须具有对负载施加固定电压的定电压电源电路。但是，当负载从待机状态到操作状态时，电流会从定电压电源电路流到负载。因此，会使得半导体器件附近的定电压电源电路内的电压下降。

一般而言，定电压电源电路中设置有运算放大器与反馈电路。借此，可以利用反馈电路将输出电压反馈到运算放大器，来抑止电压的变动范围。但是，由于半导体集成电路的速度越来越高，便需要进行在高频范围的电性测试。为此，便产生由反馈电路所反馈的输出电压无法跟踪电压变化。

在此，为了抑制在定电压电源电路内负载附近的电压下降，便在负载附近设置旁路电容。由于旁路电容设置在负载的附近，故可以快速地从反馈电路补偿输出电压。因此，可以应用于随着半导体集成电路的高速化，而必须在高频范围进行的电性测试。

但是，由于旁路电容设置在负载的附近，不得不将旁路电容的面积缩小。因此，无法增大旁路电容的容量，故无法有效充分地对输出电压的变动进行补偿。

此外，一般旁路电容是与负载并联连接的。因此，在定电压电源电路中的电阻与旁路电容便形成RC电路。由于RC电路的频率特性与运算放大器的频率特性，会使定电压电源电路在高频范围容易造成不稳定。

再者，近年来半导体集成电路日益的高速化，因此半导体集成电路的测试装置也需随着半导体集成电路的高速化，要考虑配线电阻等因素，以其能在高频范围稳定地进行测试。此外，为了提高生产能力，也希望半导体测试装置能够高速化。

定电压电源电路可以提供不随供给负载的电流变化而变化且预定的输出电压给负载。此外，在依据供给负载的电流改变而产生输出电压发生变动的情形时，从反馈电路所反馈的输出电压可以跟踪电压的变动，而使定电压电源电路可以充分地对输出电压进行补偿修正。

再者，在随着半导体集成电路的高速化的高频运作范围内，定电压电源电路可以提供稳定的输出电压给负载。

同时，随着半导体集成电路的高速化，可以实现在高频范围稳定地进行测试的半导体集成电路测试装置也是必要的。

发明内容

本发明为解决上述的问题，提出定电压电源电路、定电压电源电路基板及定电压施加方法。此目的是通过独立权利要求所记载特征的组合来实现的。此外，从属权利要求还公开了本发明较佳的具体实施例。

依据本发明的定电压电源电路的第一实施例，本发明提出一种定电压电源电路，其包括定电压施加电路、第一电感器件与第一旁路电容。定电压施加电路具有运算放大器，用以对一负载施加输出电压；以及反馈电路，用以将输出电压反馈到运算放大器。第一电感器件设置于定电压施加电路与负载之间。第一旁路电容的一端耦接于第一电感器件与负载之间，另一端则耦接至定电压器件。

较佳而言，第一旁路电容到该负载间的电感值比该定电压施加电路到该负载间的电感值小。

依据本发明的定电压电源电路的第二实施例，在第一实施例中再增加第一电阻，其与第一电感器件并联连接。

依据本发明的定电压电源电路的第三实施例，在第一实施例中再增加补偿电路，其具有第二电阻、第二电感器件与第二旁路电容，其中各第二电阻、第二电感器件与第二旁路电容的其中一端彼此互相连接，第二电阻的另一端连接到第一电感器件的靠近电压施加电路的一侧，第二电感器件的另一端连接到第一电感器件的靠近负载的一侧，第二旁路电容的另一端连接到定电压器件。

较佳而言，第二旁路电容到负载的电感值比第一旁路电容到负载的电感值大。较佳而言，第二旁路电容的电容量比第一旁路电容的电容量大。较佳而言，第二电感器件的电感值比第一电感器件的电感值小。

上述的第一旁路电容到负载的电感值与第二旁路电容到负载的电感值至少一个是各旁路电容到负载的线路配线的电感值。第一电感器件与第二电感器件至少一个是线路配线的电感值。此外，第一旁路电容到负载的电感值与第二旁路电容到负载的电感值分别是第一旁路电容与第二旁路电容到负载的线路配线的电感值，且第一电感器件与第二电感器件是线路配线。