[实用新型]一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置。

背景技术

背景技术中，用于离子镀膜室的分度回转工作台装置包括回转工作台、主工作台和驱动装置，回转工作台设置在主工作台上方。该结构的分度回转工作台装置的缺点是：工作范围小。待镀件放在分度回转工作台装置的回转工作台上，镀膜时，由于由若干小齿轮带动的回转工作台只产生自转，小齿轮的转动必须依靠一个大齿轮的转动，因此不能做到一个工作台固定在一个位置旋转，而镀膜装置的喷头位置固定，镀膜时，则需要样品在离子源前，面对离子源旋转，因此只能对待镀件的某一特定位置进行镀膜，工作范围小，镀膜位置难以保证。

实用新型内容

本实用新型解决了背景技术中的回转工作台工作范围小、镀膜位置难以保证的技术问题。本实用新型的技术方案是：

一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置，包括回转工作台3、主工作台4和驱动装置9，所述回转工作台3设置在主工作台4上方，所述驱动装置9包括电机15和主传动轴10，所述主工作台4设置在主传动轴10上，其特征在于：所述主工作台4上设置有回转部件8，该回转部件8包括锁紧装置2、传动装置11和回转驱动装置5，传动装置11设置在主工作台4与回转工作台3间，所述回转工作台3与传动装置11间为可绕传动装置11的中心轴13旋转的轴联接，锁紧装置2设置在中心轴13上；所述回转驱动装置5包括回转驱动盘14和驱动轮12，所述回转驱动盘14设置在主工作台4下方的主传动轴10上，其通过驱动轮12与传动装置11联接，所述主工作台4和回转驱动盘14联接；所述主工作台4外端设置有外棘轮1。

上述主传动轴10与主工作台4联接处可设置上内棘轮6。

上述主传动轴10与回转驱动盘14联接处可设置下内棘轮7。

上述传动装置11可采用伞齿轮组或斜齿轮组等。

上述锁紧装置2可采用弹簧夹头锁紧装置。本实用新型具有以下优点

本实用新型位于真空室内，可实现工件装夹、分度回转等离子清洗和分度回转镀膜，工作范围大，可确保镀膜位置。

图面说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的俯视示意图。

具体实施方式

参见图1，本实用新型包括回转工作台3、主工作台4和驱动装置9，回转工作台3设置在主工作台4上方，驱动装置9包括电机15和主传动轴10，主工作台4设置在主传动轴10上。主工作台4上设置有回转部件8，该回转部件8包括锁紧装置2、传动装置11和回转驱动装置5，传动装置11设置在主工作台4与回转工作台3间，回转工作台3与传动装置11间为轴联接，其可绕传动装置11的中心轴13旋转，所述锁紧装置2设置在中心轴13上；回转工作台3用以实现工件的装夹，回转及所需的摆角位置；回转驱动装置5包括回转驱动盘14和驱动轮12，回转驱动盘14设置在主工作台4下方的主传动轴10上，其通过驱动轮12与传动装置11联接，主工作台4和回转驱动部件14联接；主工作台4外端设置有外棘轮1。

主传动轴10与主工作台4联接处设置有上内棘轮6。

主传动轴10与回转驱动部件14联接处设置有下内棘轮7。棘轮为限位部件，主要用于配合主工作台4实现限位及回转工作台实现运动传递。回转运动动力传递是通过真空室外的步进式伺服系统经磁密封的主轴传入的。

上述传动装置11为伞齿轮组或斜齿轮组。

参见图2，主传动轴10逆时针回转为驱动分度，顺时针回转为去除驱动。为了确保正确定位，需要过限位部件上的棘爪与主工作台外圆上棘齿反向设置，即设计的内齿与外齿齿向相反，以限定主传动轴10在顺时针回转时，主工作台4停留在当前工位位置。六个回转工作台3按设定的工位及工序顺序进行运动，完成加工工作。回转工作台3的运动传递元件为直齿轮及二对共齿伞齿轮，回转工作台3上可配装不同的工装，对工件进行装夹。同时，该工作台能够向外偏摆0°～60°的摆角，以适应不同加工工艺的要求。摆角调整好后，可通过该部件的弹簧夹头锁紧。

分度回转工作台3的主传动轴10转速通过降速比i＝0.26降速，分度及回转的速度为0.26n。分度及回转工艺过程信号的提供，可通过限位部件中设置的光电开关及分度工作台主工作台4下面的分度通光环配合提供，通过微机进行工位工序控制。分度回转工作台的分度和回转运动的速度任意可调，光电角度分辨率可达5°，硬限位点定位精度可小于0.05mm。