[实用新型]固体离子源支撑支架

说明书

本实用新型涉及一种用于固体离子源支撑和拆装的支架装置。

由于固体离子源中的阴极靶消耗很快，需定期更换，同时，源内需进行清理和维修，所以，离子源要经常拆卸。现有的离子源支撑支架多为固定式结构，拆装一次需2～3人，操作繁琐，费时费力，影响生产；在拆装过程中还易损伤法兰等部件。

本实用新型的目的在于避免上述现有技术中的不足之处，而提供一种操作简便，省时省力，拆装时不会损伤零部件的固体离子源支撑支架。

本实用新型的设计方案如下：

一种固体离子源支撑支架，包括旋转机构和导向机构，其特征在于：所述旋转机构包括垂直旋转机构和水平旋转机构，所述垂直旋转机构包括固定于底座5上的立柱4，其内设置有丝杠2，丝杠2上端固定有升降手轮1，所述立柱4的外部设置有与丝杠2螺纹配合的旋转外套3；所述水平旋转机构包括固定支架12，其固定于旋转外套3上，旋转托架10与固定支架12通过支撑轴11和与该支撑轴11螺纹配合的锁紧螺母9连为一体；所述导向机构包括固定于旋转外套3上的导向滑块8，其设置于垂直设立的滑槽6内，滑槽6外侧设置有可使导向滑块8脱离滑槽6的导向槽7。

上述水平旋转机构、导向机构与立柱4之间可设置绝缘隔离件13、14。

上述支撑轴11可采用螺栓。

本实用新型与现有技术相比具有如下优点：

固体离子源的支撑稳定可靠，拆装时通过旋转机构操作，仅需一人，操作工序简便，省时省力，且不会损伤零部件。

附图为本实用新型的结构示意图。

下面将结合附图对本实用新型作进一步详述：

参见附图，固体离子源固定于旋转机构的旋转机架10上，调节升降手轮1，旋转托架10可上下升降。旋转托架10位置确定后，可用锁紧螺母9固定锁紧。当需对固体离子源进行更换、维护、清理时，操作锁紧螺母9，使固体离子源下降10～30mm，脱离滤质器，导向滑块8降至导向槽7处，将整个支架水平旋转至主机框架之外即可。支架水平旋转角度可为0～90°。旋转托架10还可绕支撑轴11旋转0～180°。旋转外套3与立柱4间可设置绝缘隔离件13，导向机构处亦可设置绝缘隔离件14。