[实用新型]曝光机灯管水冷装置无效

专利信息
申请号: 01255604.1 申请日: 2001-09-11
公开(公告)号: CN2496130Y 公开(公告)日: 2002-06-19
发明(设计)人: 梁茂忠 申请(专利权)人: 梁茂忠
主分类号: H01K1/58 分类号: H01K1/58
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 510850 广东省广州市花都区狮*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 曝光 灯管 水冷 装置
【说明书】:

实用新型涉及一种水冷装置,特别是一种能对曝光机灯管适当冷却,使灯头露出套体外,提供一个灯管能发挥其正常照射强度,增加使用寿命,缩短曝光时间,提高作业效率。

现有的紫外线曝光机(如图1-3所示),大体是由位于曝光机上的紫外线灯管10,由一水套组12将整支灯管10及灯头11整个罩覆密闭于内,并使灯管10、水套组12于灯罩外箱15内,且灯管10是借着灯管固定座13固定该灯头11,而灯管固定座13再固接在固定板131上,而水套组12固置于水套固定座14上,灯管固定座13、水套固定座14均受一反射架固定板16加以固定于该灯罩外管150内。仍存在有其缺点:由于整支灯管10、灯头11皆密闭在水套组12,使得原本不需冷却的灯头11部份也因密闭设计而接收到灯管10烘热影响却无法散热,因灯头并无需进行照射,故而必需另外加装“气冷系统”对灯头进行冷却作用,如此一来,又会对灯管10电极产生过冷影响,如此过热,过冷的两极变化,势将使得紫外线(UV)灯管无法发挥正常照射强度,甚至会加速使灯管衰减、老化,减短使用寿命,造成照射强度大幅降低,会大幅增加曝光时间,甚至中断曝光的运作程序,降低生产效率。

另外,该水套组12是由二水套121、122构成,且第一水套121口径比第二水套122口径较小,使第一水套121可套入该第二水套122内,因水套组12是整个罩覆该灯管10及管头11,故必须由第一、第二水套盖123、124加以封盖第一、二水套121、122开口,并于两水套盖123、124内加装有托片125、126防止雨水套内的水流漏出来。从现有技术知结构,构造零件太复杂,清洁操作时必需拆下大部份零件(例如内、外水套盖123、124、灯管固定座13,水套固定座14,才能对灯管10进行更换或清洁的操作),另在制程上车加工、铁加工、载切、弯折、焊接……等等,造成组装费工费时,零件多必须保持各自的水密。

本实用新型的目的在于提供一种安装方便,而灯管受到适当冷却作用,能发挥正常照射强度,曝光时间短,以提高作业效率者。

本实用新型的目的是这样实现的:该水冷装置仅套罩该灯管部位,进行水冷的冷却作用,而使灯头露出,达成自然冷却的效果,提供一个灯管能发挥其正常照射强度,增加使用寿命,缩短曝光时间,提高工作效率。

水冷装置是由一组石英玻璃构成有一具内、外水套的水冷套体。一种灯头露出套体外,不需再加装气冷系统,采用开放通风方式的自然冷却,不致受灯管影响而不会有过热现象,以增加灯管使用寿命的曝光机灯管水冷装置。

本实用新型具有如下优点:设计合理,结构简单,安装方便,而灯管受到适当冷却作用,能发挥正常照射强度,曝光时间短。

附图的图面说明如下:

图1是现有技术的组合示图,

图2是现有技术的剖视示图,

图3是图2的剖视示图,

图4是本实用新型的结构示意图,

图5是本实用新型图4的仰视图,

图6是本实用新型图5的示意图,

图7是本实用新型的曝光机冷却系统示意图。

下面将结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详述:水泵2、灯管20、灯头21、灯管固定板23、穿孔231、冷却器3、水冷装置30、内水套31、外水套32、入水水管接头33、出水水管接头34、水套固定座35、水套固定压板36、冷却系统4、反射架固定板40、反射架支撑板41、灯罩外箱50、反射器51、52、53、曝光台54。

如图1、图4、图5所示,一种曝光机灯管水冷装置,它包括灯管20及水冷装置30;其特征在于:灯管20是为一种紫外线(UV)灯管,两端为灯头21设计:

水冷装置30是由一石英玻璃一体成型有内、外水套31、32两水套互隔适当间距,且其中心孔可穿套上述该灯管20,并配合灯管20预设的发光区域长度而设计该内,外水套31、32的长度,使灯管20的灯头21部位露出内、外水套31、32外。另外,内、外水套31、32一体成型后,两端连接(可以烧焊方式达成)有入水、出水水管接头33、34,使蒸馏水可由位于下方的入水水管接头33进行入水,而由位于上方的出水水管接头34进行出水,使蒸馏水完全不外漏。

将水冷装置30的一体成型的内、外套,用以外套于灯管20预设发光部位,进行冷却作用,使不必产生热源的“灯头21”露出两水套31、32外,不仅不会受灯管产生的热源所影响,反而可利用开放的通风方式达成自然冷却,提供灯管20能完全发挥正常照射强度,增加使用寿命,缩短曝光时间,提高工作效率。

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