[实用新型]复合式清洁真空泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及泵技术领域，特别是一种复合式清洁真空泵。

背景技术

油封式机械真空泵目前在镀膜技术、冶金技术、电子技术等工业部门中仍得到普遍的应用，它们的共同特点是依靠泵油润和密封，在使用过程中，泵的高级腔中将会有少量的泵油被抛入被抽系统中，同时高级腔中的油也会慢慢地向被抽系统“爬行”，这些过程进入被抽系统中的泵油，在低压强下会不断地挥发，尽管有一部分油蒸气被泵本身抽走，但仍有一些油蒸气返流到系统中，会影响成品的质量、数量、安全和维护。由此可见工业上就需要有一种清洁的真空泵，近几年出现了一些无油真空泵，如爪式泵、螺杆泵、涡旋泵等，虽然它们可以实现无油的清洁真空，但是一系列十分突出的问题是压缩比不高、抽速小、结构复杂，制造和维护成本高，价格昂贵。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种可以获得清洁真空和大抽速的复合式清洁真空泵。

本实用新型是这样实现的，它包括泵壳、罗茨真空泵、旋片真空泵和油气分离器，其特征是在泵壳内安装有罗茨真空泵和旋片真空泵，罗茨真空泵和旋片真空泵之间通过管路连接，在旋片真空泵进气口上方装有获得清洁真空的吸附室，在罗茨真空泵进气口处设置有自动换向阀。

本实用新型由于设置了吸咐室并采用了罗茨真空泵和旋片真空泵复合结构，且通过自动换向阀的闭环控制，可以在大气压至0.13帕的宽量程内保持大抽速、高效率，具有结构紧凑、功率消耗低和成本小的优点。

附图说明

以下结合附图对本实用新型做进一步的描述；

图1是复合式清洁真空泵的结构示意图

图2是复合式清洁真空泵的抽气过程过程示意图，

具体实施方式

如图1——2所示，该复合式清洁真空泵包括泵壳11、自动换向阀1、罗茨真空泵2、旋片真空泵4和气体管路7、8、9、10、12和油气分离器13，在泵壳11内安装有罗茨真空泵2和旋片真空泵4，罗茨真空泵2和旋片真空泵4之间通过管路连接，在旋片真空泵4进气口6上方装有获得清洁真空的吸附室3，在罗茨真空泵2进气口处设置有自动换向阀1，在壳体内安装的罗茨真空泵和旋片真空泵可实现串、并联结构。其抽气过程是，在进气口的初始条件为大气压时，气体流程用双线表示，被抽气体经过进气口5进入自动换向阀1，将自动换向阀1的阀芯左移，后气体经过管路7、8、9进入吸咐室3，使被抽气体中的可凝性蒸气被捕集到吸咐室3中，剩余的干燥气体经过管路10进入旋片真空泵4中，并由旋片真空泵4的排气阀排出，经泵体的油气分离装置过滤后，排出泵外，当进气口6压力值达到某一设定值时，自动换向阀1使管路12接通，之后被抽气体经管路7——罗茨真空泵2、管路9——吸咐室3——管路10——旋片真空泵4——油气分离器13过滤之后排出泵外。