[实用新型]机械扫描装置无效
| 申请号： | 01239336.3 | 申请日： | 2001-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN2482692Y | 公开（公告）日： | 2002-03-20 |
| 发明（设计）人： | 游淋云 | 申请（专利权）人： | 上海稳上创新技术有限公司;游淋云 |
| 主分类号： | G01N33/53 | 分类号： | G01N33/53 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 顾峻峰 |
| 地址： | 200233 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机械扫描 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种机械扫描装置，包括控制系统、扫描头、Y轴扫描单元和X轴扫描单元，其特征在于，所述X轴扫描单元包括：驱动电机(2)、由所述驱动电机驱动旋转的凸轮机构(3)、啮合于所述凸轮机构的凸轮啮合杆(7)、可在导轨(6)上滑动的样品台(5)、以及将所述样品台连接于所述凸轮啮合杆的连杆(4)。
2.如权利要求1所述的机械扫描装置，其特征在于，所述凸轮机构是一凸轮槽。
3.如权利要求1所述的机械扫描装置，其特征在于，所述凸轮机构是一凸轮，并具有啮合保持件。
4.如权利要求1所述的机械扫描装置，其特征在于，所述Y轴扫描单元包括：可在一导轨(12)上滑动的移动平台(1)、连接于所述移动平台的丝杠(11)、连接于所述丝杠的驱动电机(9)。
5.如权利要求1所述的机械扫描装置，其特征在于，所述凸轮机构的曲线形状是渐开线、正弦曲线、余弦曲线、阿基米德螺旋线以及这些曲线的任意组合中的至少一种。
6.如权利要求5所述的机械扫描装置，其特征在于，所述凸轮机构的曲线形状是渐开线形的。
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