[实用新型]加有电场的有机蒸发镀膜装置

说明书

本实用新型属于电致发光技术领域，是一种附加有电场辅助装置有机蒸发镀膜装置。

有机电致发光器件，是一种把电能直接转化为光能的器件，它的一般结构是三明治结构，在一金属阴极和一透明阳极之间夹一层或多层有机薄膜，通常称有机层。有机层是利用有机分子在蒸发状态下，分子的迁移，生长在特备的衬底上。制备电致发光器件的有机层，通常使用真空蒸发镀膜机。有机材料蒸发温度较低，有机分子在低的温度下，迁移率相对也较低，成膜时往往存在很多孔隙。含有孔隙的有机层放在空气中，水气和氧气就会进入膜中，在加电的情况下，水和    氧就会同有机物发生反应，使有机层遭到破坏。这种有机层制备的发光器件，寿命短，发光质量下降。

为了减少有机层成膜时的孔隙，保证发光器件有机层的质量和寿命，本实用新型对现有的有机蒸发镀膜机进行改进，目的是提供一种改善有机蒸发镀膜成膜性能的装置。

图1为本实用新型的结构图。图中1为加热器，2衬底基片，3金属电极板，4电源，5绝缘棒，6蒸发源，7真空接口。

在真空蒸发镀膜机的密闭容器中，上部安装有加热器1，衬底基片2固定在加热器1的下面。密闭容器下部的中心放置有蒸发源6，衬底基片2保持在加热器1和蒸发源6之间。蒸发源6的位置正好使其上的蒸发物均匀地蒸镀在衬底基片2上。真空接口7用来同真空系统相连接。

本实用新型的特征是在衬底基片3的下面，蒸发源6的上面放置有两个金属电极板3，电极板3尽量靠近衬底基片，并同衬底基片2垂直。蒸发源6在金属电极3的下方，并处在金属电极板3之间，蒸发源6蒸发出的蒸发物在向衬底基片2迁移时，通过两个金属电极板3之间的空间，金属电极板3在镀膜机的密闭容器中用绝缘棒5同其它装置绝缘。两金属电极板3用导线同电源4相连。两金属电极板间电压为1000伏～3000伏。

本实用新型采用电场辅助沉积装置，提高了有机层的聚集密度，例如把喹啉铝的聚集密度由原来的0.9提高到0.97，表面粗糙度降低一倍以上，电迁移率提高20％，从而发光器件寿命延长50％。