[实用新型]废气管路清洁装置

说明书

本实用新型有关于一种废气管路清洁装置。第1图表示应用于一般废气处理装置10管路11、12、13的配置连接示意图；以半导体厂所使用的废气处理装置10为例子，第1图中所示的管路11、12、13为简略示意配置图。在实际现场的管路是纵横交错设置于管路11、12、13的四周围，在此仅呈现出欲进行清洁的管路11及相关的管路12、13。

半导体厂的废气处理装置10是用以对于晶片在沉积及蚀刻等过程所产生的废气W进行处理。当废气W由管路11、12而流入于废气处理装置10之后，废气处理装置10对于废气W中的不纯物(例如：氢化物(H₂、ASH₃…)、氟化物(NF₃…)、氯化物(BCl₃、CCl₃…)等特殊气体)进行有害物质的分离，处理后的废气W’便由管路13排出于废气处理装置10。

然而，由于废气W中包括有相当多的微粒物质，在长时间且大量的废气W流经管路11之后，管路11的内壁上便累积有一定厚度的结块(cake)。就现有的管路清洁方式是将被清洁管路11以分段拆解的清洁方法来进行，如此不但无经济效率可言，刷除结块后

所散布于空气中的微粒物质更是不利于清洁人员的健康。

本实用新型的目的是提供一种废气管路清洁装置，以对于被清洁管路内壁所附着的结块进行分离及清除。

本实用新型的废气管路清洁装置主要包括有：一壳体、一清洁构件及一挠性导引件；壳体具有一连接口及第一排放口，该连接口用以连接被清洁管路；清洁构件设置于壳体的内部，移动于壳体的内、外部，该清洁构件由连接口而移动至被清洁管路内部，由该清洁构件将结块分离于被清洁管路，并且由该第一排放口将该结块排出；挠性导引件连接于清洁构件，由该挠性导引件的进给而将清洁构件移动于被清洁管路之中；挠性导引件连接于清洁构件，由该挠性导引件将该清洁构件移动于该被清洁管路之中。

本实用新型的废气管路清洁装置的另一种结构是主要包括有：一壳体、一清洁构件、一挠性导引件、两定位件、一进给装置(如滚轮)及一收容装置。壳体具有一连接口及第一排放口，该连接口用以连接被清洁管路；清洁构件设置于壳体的内部，移动于壳体的内、外部，该清洁构件由连接口而移动至被清洁管路内部，由该清洁构件将结块分离于被清洁管路，并且由该第一排放口将该结块排出；挠性导引件连接于清洁构件，由该挠性导引件的进给而将清洁构件移动于被清洁管路之中；挠性导引件连接于清洁构件，由该挠性导引件将该清洁构件移动于该被清洁管路之中；进给装置用以控制该挠性导引件的移动；收容装置用以容纳该挠性导引件，在清洁构件的回复行程中自动地将该挠性导引件收回于该收容装置。

当连接口连通于被清洁管路的端部之后，清洁构件便可经由连接口而移动于被清洁管路，由清洁构件的金属刷毛或塑料刷毛将附着于被清洁管路的内壁的结块分离，并且以吸尘器将结块经由第一排放口排出于被清洁管路。

清洁构件接连于一挠性导引件，该挠性导引件由一进给装置移动；由挠性导引件将清洁构件往复移动于被清洁管路之中，并且由二定位件(如轴承)将挠性导引件定位于壳体的中，使得挠性导引件沿着二定位件所设置的方向而移动。

上述的进给装置是包括有一对可调整式滚轮，在各滚轮的外圆周上形成有一相对的内凹曲面。挠性导引件接触设置于两滚轮的内凹曲面之间，由摩擦力对于挠性导引件进行进给，并且由收容装置内部

的弹性力量(例如：以弹簧等构件)自动地将挠性导引件收回于收容装置之中。

图式的简单说明：

第1图是表示应用于一般废气处理装置(10)的管路(11、12、13)的配置连接状态示意图；

第2图中A图是表示本实用新型废气管路清洁装置的第一实施例的平面示意图；

第2图中B图是表示沿着A图的线段a-a的剖面示意图；

第3图是表示本实用新型废气管路清洁装置的清洁构件(21)往复移动于被清洁管路内的示意图；

第4图是表示本实用新型废气管路清洁装置的第二实施例的平面示意图；

第5图是表示于第4图中的清洁构件(21’)的立体示意图；

第6图是表示第5图中的清洁构件(21’)往复移动于被清洁管路内的示意图。

图中符号说明：

10~废气处理装置

11~被清洁管路

110~端部

112~管路

12、13~管路

130~阀门

15~闸门

2~本实用新型废气管路清洁装置

20~壳体