[实用新型]干湿交替式废气处理装置

说明书

本实用新型涉及气体分离装置，尤其涉及一种干湿交替式废气处理装置。

近年来，国际环保意识增强，各国在发展工业的同时，要求相关工厂所排放的废气、废水必须符合排放标准。为此，有各种针对不同产业工艺流程特性而设计的废气、废水处理设备陆续开发问世。目前半导体产业广泛使用的废气处理方法有湿式和干湿交替式两种，其中湿式废气处理方法，主要是使废气直接经由多道水雾冲刷作业后再行排放。干湿交替式废气处理方法，是使废气用导管依序经由一裂解腔进行高温分解，然后导入一滤净腔进行水雾冲刷作业后，再经由风管排放。后一种方法采用的设备装置虽结构较为复杂，但因具有较佳的废气处理效率，已逐渐被具有高生产价值的半导体产业所接受采用。上述习用干湿交替式废气处理方法，其所应用的设备，虽能达到基本的实施效果，但经长期使用，发现其仍有下述缺陷有待改进：一是习用设备的裂解腔经一段作业时间后，其内部进出气口处易产生堆积灰垢，导致维修保养的困扰；二是其经由滤净腔进行水雾冲刷作业后排出的废气，因湿度过高常导致风管内产生积水滴落现象。三是在废气处理过程中冲刷而下的污水，一般通过管路直接导入一加盖储槽进行沉淀处理，再由操作工人进入槽内铲除淤泥，槽内产生的沼气容易危害操作人员的生命安全。

有鉴于此，本实用新型创作人员根据其多年从事废气处理设备制造业的经验，针对习用干湿交替式半导体废气处理装置整体结构设计存在的问题，积极地研究改进，终于设计出本实用新型。

本实用新型的目的在于提供一种干湿交替式废气处理装置，其由废气裂解腔、废气滤净腔及污水处置槽组成，其可减少加热时间，降低能源耗费，便于清洁保养，污水处置槽内沉积的淤泥可自动移除，作业安全性高。

本实用新型的目的是由以下技术方案实现的。

本实用新型干湿交替式废气处理装置，包括一废气裂解腔、一废气滤净腔及一污水处置槽，该废气裂解腔，其内腔壁设有一温度侦测器及一铝箔层，以通过恒温控制与热反射作用缩减加热时间和能源耗费，其腔体底端接设有一可拆卸的集尘筒，以避免腔底积堵尘垢，该废气滤净腔，其内部于水雾喷头上方堆置有多个金属环管，用以凝附滤除废气中过饱和水分，该污水处置槽，其槽体的槽口内侧缘延伸设有一直立挡板，该槽体架设有一由输送带、主动轴、从动轴、梳状滚轮、刮板、泻板、减速马达组成的淤泥清除装置，其能将污水产生的大部分沼气阻隔于槽内，并通过计时器控制驱动而将储槽内沉淀的淤泥自动移除。

本实用新型的上述目的还可以通过以下技术措施来进一步实现。

本实用新型干湿交替式废气处理装置，所述设在污水处置槽内的输送带是由主动轴、从动轴的穿设及梳状滚轮轴压抵而制成侧视L形状；所述废气裂解腔的腔体设成可拆开、锁合的两个相对部分，该废气裂解腔本体可固定架设在架体上，也可用悬滑轨支撑悬设；所述废气裂解腔的废气导入管端接设一防气爆器；所述废气裂解腔的内部间隔设有数道挡流板；所述废气裂解腔的废气导入处设有一环状氮气喷座，用于混合废气的氮气导管与压缩空气导管枢穿经过废气裂解腔内部的隔热层；所述废气滤净腔内部堆设在水雾喷头和出气口间的金属环管可用吸水性泡沫替代，水雾喷头上方的腔壁增设一释压阀。

本实用新型的具体结构由以下实施例及其附图详细给出。

图1为本实用新型整体结构配置示意图。

图2为本实用新型废气裂解腔内部结构示意图。

图3为本实用新型废气滤净腔内部结构示意图。

图4为本实用新型污水处置槽结构示意图。

图5为本实用新型污水处置槽局部结构示意图。

图6为本实用新型污水处置槽梳状滚轴及输送带结构示意图。

图7为本实用新型的废气裂解腔可拆除结构俯视示意图。

图8为备实用新型的废气裂解腔加装防气爆器示意图。

图9为本实用新型的废气裂解腔设有的挡流板结构示意图。

图10为本实用新型的废气裂解腔另一实施状态结构示意图。

图11为本实用新型的废气滤净腔另一实施状态结构示意图。

参阅图1所示，本实用新型干湿交替废气处理装置，其包括一废气裂解腔1、一废气滤净腔2及一污水处理槽3。

参阅图2所示，本实用新型干湿交替废气处理装置，其废气裂解腔1的内腔壁设有一温度侦测器11，用以控制加热器12以恒温状态运作，且内腔壁设有一铝箔层13，其能产生热反射作用，以缩短废气裂解腔1的加热时间及减少能源耗费，该废气裂解腔1的底端另接设有一可拆卸的集尘筒14，该集尘筒14的筒口端设有一蝴蝶阀141，用以收集废气裂解过程产生的颗粒尘a，这种结构设计能壁面腔底堆积尘垢，且无需拆开废气裂解腔即能清洁保养。