[发明专利]气体喷射器以及包含该喷射器的蚀刻装置

权利要求书

1.一种气体喷射器，包括：

陶瓷材料块，该陶瓷材料块具有第一圆柱形部分以及从第一圆柱形部分伸出的第二圆柱形部分，第二圆柱形部分的外径小于第一圆柱形部分的外径，第二圆柱形部分的长度小于第一圆柱形部分的长度；和

气体喷射部分，包括穿过所述陶瓷材料块的第一圆柱形部分延伸的第一孔和穿过陶瓷材料块的第二圆柱形部分延伸的第二孔，第二孔的直径小于第一孔的直径，第二孔的轴向长度小于第一孔的轴向长度，每个第二孔分别从一个对应的第一孔中伸出并与第一孔同心。

2.如权利要求1所述的气体喷射器，其中第二圆柱形部分的外径大约为第一圆柱形部分的外径的0.55-0.75倍，第二圆柱形部分的长度大约为第一圆柱形部分的长度的0.55-0.75倍。

3.如权利要求2所述的气体喷射器，其中第一圆柱形部分的外径约为17-21mm，第二圆柱形部分的外径约为10.2-14.7mm，第一圆柱形部分的长度约为3.8-4.6mm，而第二圆柱形部分的长度约为2.3-3.2mm。

4.如权利要求1所述的气体喷射器，其中第二孔的直径大约为第一孔直径的0.4-0.6倍，第二孔的轴向长度大约为第一孔轴向长度的0.5-1倍。

5.如权利要求4所述的气体喷射器，其中第一孔的直径约为1.8-2.2mm，而第二孔的直径约为0.72-1.32mm，第一孔的轴向长度约为3.1-5.2mm，第二孔的轴向长度约为2.1-3.9mm。

6.如权利要求1所述的气体喷射器，其中气体喷射部分包括3-12对第一和第二孔。

7.如权利要求6所述的气体喷射器，其中气体喷射部分包括三对相应的第一孔和第二孔，三对第一孔和第二孔被设置成三角形图案，其中每一对第一孔和第二孔的中轴线位于三角形的各个顶点。

8.如权利要求6所述的气体喷射器，其中气体喷射部分包括五对相应的第一孔和第二孔，五对第一孔和第二孔被设置成矩形图案，其中四对第一和第二孔的中轴线位于矩形的顶点，第五对第一和第二孔的中轴线位于矩形的中心。

9.如权利要求6所述的气体喷射器，其中气体喷射部分包括九对相应的第一孔和第二孔，九对第一孔和第二孔被设置成八边形图案，其中八对第一和第二孔的中轴线分别位于八边形的顶点，第九对第一和第二孔的中轴线位于八边形的中心。

10.如权利要求1所述的气体喷射器，其中第一孔和第二孔分别平行于第一和第二圆柱形部分的轴向延伸。

11.一种蚀刻装置，包括：

处理室，用于在其中容纳衬底；

至少一个气体喷射器，气体由该喷射器喷射到处理室中，该气体喷射器包括陶瓷材料块，该陶瓷材料块包括第一圆柱形部分和从第一圆柱形部分延伸出的第二圆柱形部分，第二圆柱形部分的外径小于第一圆柱形部分的外径，第二圆柱形部分的长度小于第一圆柱形部分的长度，和

气体喷射部分，包括穿过陶瓷材料块的第一圆柱形部分延伸的第一孔和穿过陶瓷材料块的第二圆柱形部分延伸的第二孔，第二孔的直径小于第一孔的直径，第二孔的轴向长度小于第一孔的轴向长度，每个第二孔分别从一个对应的第一孔中伸出并与第一孔同心；和

偏压电源，用于向支撑在处理室中的衬底施加偏压。

12.如权利要求11所述的蚀刻装置，其中所述气体喷射器中的三个喷射器被设置在处理室中。

13.如权利要求11所述的蚀刻装置，其中所述至少一个气体喷射器被设置在处理室的上部。

14.如权利要求11所述的蚀刻装置，其中第二圆柱形部分的外径大约为第一圆柱形部分的外径的0.55-0.75倍，第二圆柱形部分的长度大约为第一圆柱形部分的长度的0.55-0.75倍。

15.如权利要求14所述的蚀刻装置，其中第一圆柱形部分的外径约为17-21mm，第二圆柱形部分的外径约为10.2-14.7mm，第一圆柱形部分的长度约为3.8-4.6mm，而第二圆柱形部分的长度约为2.3-3.2mm。

16.如权利要求11所述的气体喷射器，其中第二孔的直径大约为第一孔直径的0.4-0.6倍，第二孔的轴向长度大约为第一孔轴向长度的0.5-1倍。