[发明专利]等离子增强真空干燥

权利要求书

1.一种对凝聚材料抽真空的方法，其特征在于包括下列步骤：

从环绕该材料的容积中抽取环境空气；

在抽空容积内产生剩余气体等离子体以促进该材料蒸发。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于等离子体产生的持续时间与待抽空的凝聚材料数量成正比。

3.根据权利要求1的方法，其特征在于在产生等离子体时的真空压力大约700mTorr。

4.根据权利要求1的方法，其特征在于包括在基本等于或低于凝聚材料的平衡蒸气压力时激励等离子。

5.种将湿物品干燥的方法，其特征在于包括下列步骤：

将物品放入含有环境空气的舱室；

关闭舱室；

抽空舱室；

继续抽空舱室的同时在舱室内产生剩余气体等离子体；及

从舱室取出物品时除排放真空的流体之外并不向舱室引入任何流体。

6.根据权利要求5的方法，其特征在于产生等离子体时的压力大约为湿润物品的材料的平衡蒸汽压力。

7.根据权利要求5的方法，其特征在于包括继续产生等离子体直至抽空速率增大，这表示物品基本干燥。

8.根据权利要求7的方法，其特征在于舱室压力大约700mTorr时产生等离子体，舱压力大约600mTorr时等离子体淬灭。

9.一种干燥方法，其特征在于包括下列步骤：

向舱室放入包括至少1毫升水的物品；

抽空舱室；

继续抽空舱室的同时舱室内产生等离子体直至所要求数量的水从物品中去除。

10.根据权利要求8的方法，其特征在于包括继续产生等离子体直至抽空速率增大，这表示物品基本干燥。